半导体氧化物气敏材料的电导振荡特性的研究.pdfVIP

半导体氧化物气敏材料的电导振荡特性研究+ 张正勇刘锦淮张耀华 (中国科学院台肥智能机械研究所 台肥 230031) ■ 摘要：本文对半导体氧化物气体敏感材料的电导振荡特性加以研究分析，通过试验与理 论分析得出气敏电导振荡fi自JZ,要条件，并对电导振荡型气体敏感元件的原理、工艺技术和结 构等进行分析说明。同时，对半导体氧化物气体敏感材料的常温气体敏感特性进行归纳总结， 指出其优缺点和需要解决的问题。 ● 关键词：气敏材料：振荡特性：振荡条件：常温气敏元件。 ～、引言 半导体氧化物类型的气体传感器由于其材料制备容易。结构简单，制备工艺简便，价格 低，测试气体灵敏度高，测试电路简单方便等优点受到人们的欢迎。在所有的商品化气体传 感器中，半导体氧化物类型的器件占大多数，它特别适用于对气体泄漏、气体浓度控制等的 在线长期检测与报警。目前，人们已开发出多种半导体氧化物气敏材料，几乎所有的2-6价 的具有变价态的金属氧化物及其复合氧化物都可用来作气敏材料，常见的有 和MxSnO，系列等。这些材料除作为国体电解质气敏材料外，无一例外是通过其在气氛条件下 电导的变化来检知气体的。半导体氧化物的气体敏感机制一般认为有两种，其一是表面吸附 控制型，它的敏感机理是在洁净空气中(加热到一定的温度)对氧进行表面吸附．在材料的 晶界处形成势垒，该势垒阻挡电子漂移运动，电子不容易越过势垒，引起材料电导降低：在 原性被测气氛中吸附被测气体并与吸附氧交换或反应一使晶界处吸附氧脱附，晶界势垒降低， 从而引起材料电导增加。其二是体效应型，其敏感机理是材料在被测气氛中金属元素价态发 生变化，即半导体氧化物材料发生了氧化还原反应，引起材料电导的变化，从而感知被测气 体。要发生这些变化必需有较高的温度，所以气体敏感元件一般要加热才能正常工作。 由于半导体氧比物型气敏元件需要一定的加热功率，这给其应用带来了麻烦。在一些场 合，人们希望气体检测装置能用普通的干电池供电工作很长时间，这对于一般的气体传感器 及其检测装置是非常困难的。为此，人们对氧化物半导体材料的室温气敏特性进行了大量研 究，一方面寻求常温气敏材料：一方面从结构八手，尽量缩小其体积，降低其功耗。 不对气敏元件进行外加热，在对其气敏特性的研究中发现其电导在某些气氛中具有振荡 特性，从而研制出了一类振荡型的气敏元件。然而对其敏感机理各有各的说法，本文想就目 前的试验结果加以分析，就这类气敏元件的敏感机理、发生电导振荡的必要条件进行分析， 同时对一类所谓的常温气敏元件的敏感特性进行讨论。 ● 二、振荡型气敏元件的制备： 以SnO!气敏材料为例，制备振荡型气敏元件的工艺及材料配方与一般厚膜型气敏元件大 等杂质，一般杂质的含量为2％一5％(wc)，根据检测气体的不同和电阻的不同需要，掺杂的 杂质及含量是可咀调整的。经研磨后调制成糊状．制成约中1mm—o1．5mm的殊状，并在其中 +中国科学院传感技术国家重点开发实验室。 制作上电极及引出两根引线作为测试电极。再经一定温度烧结即成为振荡型或烧结型常温气 敏元件(图1)。同时，元件一般要经过疏水化处理以改善振荡特性。老化后即可进行测试。 孽 图1：元件结构 图2：测试电路