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基于电极等损耗原理的微细电火花加工技术 王振龙赵万生狄士春 哈尔滨工业大学 哈尔滨市西大直街92号150001 摘要：为减小甚至消除电极损耗对微细电火花加工精度的影响，本文探讨了微细电火花加工 过程中，电极端部的损耗规律，分析和研究了电极等损耗微细电火花加工技术的可行性， 并给出了电极轴向补偿的基本方法。研究表明：利用简单截面形状的电极和电极端部的 轴向等损耗特性，可实现三维微细轮廓的高精度电火花加工。 关键词：微细电火花加工，电极等损耗，轴向补偿 l前言 机械产品的精密化和小型化一直是制造业追求的目标之～。与之相适应，近年来微细加 工技术得到了长足的发展．微细加工技术已成为涉及机械、电子、化学、材料等多种学科的 现代高技术。目前，在微细加工领域中，将深度X射线刻蚀、电铸成型及塑料铸模等技术有 机结合的LIGA技术；利用液态的光硬性树脂在紫外线照射下凝固成型特性，无须掩膜的光造 型法微电子光刻技术等微电子机械技术受到人们日益普遍的关注。然而上述技术的实现，必 须依赖于昂贵设备的投入，且从原理上讲，这些方法很难用于斜面、阶梯面、自由曲面的微 细三维nⅡ工。因此，在密切关注LIGA等现代微电子机械技术的同时，必须加紧研究和开发其 它实用的微细加工技术，以适应微机械发展的迫切需要。 图1电火花线电极磨削法示意图 f电极可在微细电火花加工机床上，利用WEDG直接反 拷而成．有效地避免了微细电极的装夹误差及变形．因此利用所制作的电极可以得到极高的 加工精度。 与LIGA等微电子机械技术相比，微细电火花加工技术可加工任何机械性能的导电材料： 由于微细电极的成功制作．借鉴精密数控铣削的方法，微绌电火花加工技术几乎可实现刘任 意复杂曲面的加工：并且其加工设备简单，制造成本相当低廉。因此，微细电火花加工技术 是LIGA等微电子机械技术的有力补充，已成为当前微细加工领域中不可缺少的方法之一。然 而，电火花加工过程中，电极的损耗现象是不可避免的，在微细电火花加工中，这种现象将 更为严重。电极的损耗，尤其是其端部的尖角、棱边处的变钝现象，将严重制约微细电火花 加工技术在三维复杂零件精密微细加工领域中的广泛应用。 2 电极等损耗概念的提出 为减小电极损耗对NI精度的影响，人们进行了大量的理论探索和实验研究。然而，电 火花加工的机理本身决定了其电极损耗存在的必然性，即使采用低损耗加工条件，仍不能很 好地解决上述问题。因此，探索新的加工思路。更好地利用电火花加工的特点进行精密微细 加工，已成为当前微细电火花加工技术迫在眉睫的研究课题。 目前，在三维轮廓的微细电火花加工过程，最为有效的方法是利用简单截面形状的微细 电极，借鉴数控铣削的方法，通过电极端面放电形式进行逐层扫描电火花铣削加工【4，5】，其加 工原理如图2所示。加工过程中，除应尽量采用低损耗的加工条件(如对供液方式、电极材 盼豳 翻 《i≤ i j b) 图2还层扫描电火花铣削示意图 图3电极端部的损耗 料、电脉冲参数等一系列环节进行优化)外，每一层的蚀除厚度还应极薄(微米级)，此时 这种方法可以得到相当高的加工精度。但尽管如此，在电极端部的尖角棱边处仍会出现如图 3(a)所示的损耗圆角，显然，这对高精度的微细加工是极为不利的。既然电火花加工过程中， 电极的损耗现象是不可避免的，那么如果能通过某种措施使电极端部各点的损耗量均匀，即 达到所谓的等损耗，如图3(b)所示，则就可在加工过程中，通过电极的轴向补偿运动得到极高 的加工精度。等损耗微细电火花加工技术正是基于这种思路而提出来的。 3 电极等损耗微细电火花加工的基本原理 分析表明，在低损耗加工条件下，以逐层扫描法进行微细轮廓加工时，实现图3(b)所示 的电极轴向等损耗是完全可能的。图4示意