中温烧结钌基电阻浆料.pdfVIP

第10卷第2、3期 混合微电子技术 V01．10№2·3 中温烧结钌基电阻 弘塑 昆明责金属研究所高官明 摘要钠钙视窗玻璃电气性能与氧化铝陶瓷相当，成本低．较适用作基片材料．髓Av类电子 产品的发展，在该类基片上应用的电子浆料越加迫切．本文介绍采用Ru：Pbz0。和Ru：Bi：Ot作导电 相，硼硅酸铅系舔加碳酸钠作玻璃料，研制的钉系电阻浆科系列，能应用于钠钙玻璃上作电阻器． 该系列电阻浆料烧成温度为600℃；烧成时问45min．峰值温度保温9min}电阻值范围200／口～ lMn／口。在钠钙玻璃等几种基片上有较好的附着力和良好的TcR，工艺特性良好．较易控制电阻 浆料的电阻值和TcR的大小，电阻浆料常温和热存放稳定性好，阻值变化△R／R1％． 甩主要由本身性能和杖有适合可用的厚膜浆 1引言 料受到限制。近几年．随着视听类电子产品的 目前已研究开发出了各种用途和电性能 不断发展，对钠钙视窗玻璃作基片材料的平 的厚膜电阻浆料。这些电阻浆料有的用于陶 面荧光显示屏和电路需求增加，相应在该类 瓷基片，如氧化铝、氧化铍和氮化铝等；以贵 基片材料上应用的电子浆料(导体和电阻)同 金属钌及它的化合物为导电相配制的钌系电 样得到极大发展。下面介绍最近新研制出的 阻浆料系列，烧成温度850℃，主要用于精密钉系电阻浆料，烧成温度为550℃～650c， 厚膜电路，分立元件；以难熔金属化合物和某 该电阻浆料对几种不同性能的基片材料有较 些溅金属化合物半导体为导电相制作的电阻 C 好的附着力，电阻温度系数可获得与850 浆料系列，烧成温度为760℃左右。有的用于 烧成钉系电阻浆料相同的效果，600℃温度， 柔性类基片，如薄膜、树脂板，以碳粉一有机树 45min烧结在钠钙玻璃基片上，其它电性能 脂配制的电阻浆料系列，属烘干型电阻浆料， 同样获得较满意的结果。 干燥温度为120～250．c。在这几类电阻浆料 2实验部分 中，贵金属系制得的电阻浆料在其烧成温度 下能获得最好性能，适于制作高可靠集成电 采用氯化一水解法制备的水合二氧化钌 路和精密分立元器件。尽管贵金属电阻浆料 的价格较昂贵，在厚膜混合电路的制造中，基 理，平均颗粒尺寸o．05pm，比表面积60～ 片材料的成本占较大比例，特别是制造分立 80m。，经电镜分析形状近似球形，如图1所 元件。 示。图1是水合二氧化钉600‘c温度下，经5 钠钙视窗玻璃的软化点在650℃左右， 小时脱水．电子显微镜放大50000倍时的照 它有较低的导热系数，强度、绝缘电阻和介电 片。由于RuO：粉末很细，分析时较难分散 常数与氧化铝基片相当，是一种较适用的低 开，大部分粒子聚集成团； 成本基片材料，这类基片在厚膜电路中的应 ] —●I 冒、 ■■_ 手-_P一 P一 。知刍{j生： L．．．．———--·-^．-．——-—-．，—-———一-——．—-—————--—-—·●·一 ：．，．．——．．．．．．．．．．．．．．．，—．—～．．，．．．———．．．．．．．．一