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利用电铸技术制作新型微型惯性传感器 U--Parissud，91405ORSAY，France 清华大学擞电子研究所 *LURE， 刘理天李志坚 刘泽文s．Megtert*MRouillay 摘要电镀技术在超微细加工及擞电子机械系统(MEMS)领域有十分重要的应用．本文介绍剌田电 铸技术，在硅基上用镍材料制作一种新型微型惯性传感器。该器件的总长度2750pm．梁的长度和宽度分#，l 组成．工作温度为s2℃ LIGA技术。 关键词电镀微型惯性传感器MEMS 1．引言 的灵敏度。由于镍金属具有较好的机械和理化性能， 电镀技术在超微细加工及微电子机械系统 且电铸工艺比较成熟．我们拟采用镍作器件材料，其 (MEMS)领域有十分重要的应用。自七十年代x射密度为8．99／cm3，高出硅近4倍。根据优化设计结 线光刻技术出现以来，利用电沉积制作金、鸽等重金 果．我们选