基于MEMS微镜的傅里叶变换光谱仪原理和分析.pdfVIP

第32卷，第11期 光谱学与光谱分析 2 1 O and November，2012 2年l1月 SpectroscopyspectralAmIysis 基于MEMS微镜的傅里叶变换光谱仪原理与分析 陈建君，朱 永。，刘 波，韦 玮，张 洁，王 宁 重庆大学光电工程学院．重庆400044 摘要提出r一种新型的基于可编程MEMS(micrO-electroImechanicalsystems)微镜的微型傅里叶变换红 外光谱仪。该光谱仪采用可编程MEMS微镜和倾斜反射镜替代了传统傅里叶变换光谱仪的动镜系统。理论 分析了该光谱仪的工作原理，并进行了计算机仿真，验证了该方法的可行性。结果表明，该光谱系统能够准 确地还原光谱信息，其光谱分辨率在近红外区域小于5帆，波长准确性约1咖，系统理论上的信号采集周 期约50ms。适合于利用阿达玛变换提高信噪比，可应用于微量物质检测。 关键词光谱