改进电沉积法制备三氧化钨电色薄膜.pdfVIP

塑 星盎墨全璺虽生整壁生查金垫监塞盘一 改进电沉积法制备三氧化钨电色薄膜8 社金会贾小东于振瑞李长安 天津运输工程学院理化室(天津300161) 摘要：本文在电沉积法和多聚配合物法制备三氧化钨薄膜的基础上，提出了一种制各 这一薄膜的新方法—设进电沉积法．并对该法的原理以及所制备薄膜的结构特性和电色特 性进行了研究．实验表明，该方法可与其它三氧化钨薄膜的制备方法相媲美． 关键词：改进电沉积法三氧化钨薄膜电致变色结构特性电色特性 I引言 三氧化钨作为一种典型的电致变色材料，在制备灵巧窗(SmartWindow)及其它电致 变色装置方面有着广阔的应用前景．制备三氧化钨薄膜的方法很多，已报导的有：真空蒸 发法、高频溅射法、电子束蒸发法、化学蒸汽沉积法、阳极氧化法和电沉积法等“’．这些 方法由于设备昂贵，技术复杂而使其在应用上受到限制．后来发展起来的采用溶胶—凝胶 技术的制备方法，如钨酸盐酸化法、钨粉过氧化聚钨酸法和离子交换法等，也因其操作难于 控制而未被广泛采用．最近报导的多聚配合物法“1虽然已有了较大的改进，但也存在着均 匀性差、膜厚不易控制的缺点．本文报导一种在电沉积法和多聚配合物法基础上研究出来 的新方法—设进电沉积法．该方法具有工艺设备简单、造价低廉、均匀性好，适于大面积 制备等优点，并且，所制备的三氧化钨薄膜可与其他制备方法相媲美． 2实验 x 不同浓度的Na2W吼·2H20溶液经由一个054350锄的阳离子交换柱，并以1-3 滴，秒的速度滴下，在交换后得到的钨酸溶液中加入一定量的Hp2，将已形成多聚钨酸的 双氧水配合物的溶液作为电沉积液，以金属铂片为阳极，以涂有掺氟二氧化锡透明导电薄 干后，在不同温度下用高温电阻炉进行遇火处理，退火时间为2小时． DMAX--RC W03薄膜的X．—射线衍射谱在Rig“．doa X_—射线衍射仪上测得，测试样品 的基底为抛光镍片．薄膜的电化学特性在天津大学应用化学系开发的智能连机电化学测试 系统上测得，使用O5M的NaCI溶液作为电解质．在721分光光度计上测定薄膜的光谱时， 仍以o5M的NaCI溶液作为电解质，以叉状银片为对电极，使用1,0V的着色电压． 3实验结果与讨论 3．1兰氧化钨薄膜的制备 钨酸钠溶液经过离子交换柱处理后得到的钨酸溶液与加人的双氧水形成多聚钨酸的双 氧水配合物溶液．当其作为电沉积液进行电沉积时发生如下反应： 阴极：H20z+2}r+2e12H20阳极：H20z-2e=2H+十02 总反应：2H202=2H20+02 随着反应的进行，沉积液中的双氧水不断被分勰，导致多聚钨酸的双氧水配合物不断被分 解成游离钨酸．钨酸因其很小的的溶解度而析出沉积在阴极(基片)上．所得薄膜在高温 ’国家自然科学基金资助项吕 笺盍堡垒璺垦焦显鏖堂整金垫廷塞釜 塑 处理(退火)后失水生成三氧化钨． 实验表明，不同浓度的钨酸钠溶液经过离子交换柱后得到的钨酸溶液的浓度不同，在 空气中形成凝胶的时间不同，为形成多累钨酸的双氧水配合物而所需加入双氧水的量也不 同．加入双氧水的量太少，在电沉积过程中就有形成凝胶的倾向，加入的过多，又会减小电 沉积速度，同时还会劣化薄膜的电色特性，如果加人的太多，甚至得不到沉积膜．经过反复 买验我们得出了表l中的结果．另外，通过实验还发现，采用脉冲电沉积得到的薄膜其电色 特性要优于采用恒流电沉积得到的薄膜．关于用这种方法制备三氧化钨薄膜的详细机理还 在进～步研究中． 1用于离子交换的Na2W04浓度(M)0l 02 03 04 l所得钨酸与双氧水(15％)的体积比i：00ll：0．02I：003 1：0．03 3．2三氧化钨薄膜的结构特性 图1为在不同退火温度下得到的三氧化钨薄膜的X-—射线衍射谱．其中，a谱是薄膜在 250。C下退火得到的，而b谱中薄 膜的退火温度为420。C，退火时间 皆为2h．薄膜的电沉积条件均为： 电沉积液为O2