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环形电镀金刚石线锯研究应用浅析
刘 莹1 王进保2 陈 超2 周世威2 吕 智1-2郑 超2
(1 桂林理工大学材料科学与工程学院，桂林541004)
(2桂林矿产地质研究院，桂林541004)
摘要环形电镀金刚石线锯是将金刚石磨粒固着于环形钢丝基体上的一种切割工具。本文阐述了钢
丝基体材料的选择、焊接方法、环形电镀金刚石线锯的制作工艺。文章使用自制的环形电镀金刚石线锯
进行了多晶硅的切割试验，切割工艺参数：锯丝线速度20-40m／s，工件进给速度2—10ram／rain，锯丝
张紧力60—100N。试验表明：硅片表面平整光滑，粗糙度Ra在0．328-0．562
Ixm之间，体现出环形金
刚石线锯切割的良好特性。
关键词环形；金刚石线锯；硬脆材料；焊接
ofendless diamondwiresaw
Applicationelectroplated
Liu Cha02
Yin91，WangJinba02，ChenCha02，ZhouShiwei2，Lu
Zhil”，Zheng
(J．GuilinUniversityofTechnology，Guilin541004，China)
ResearchInstitute Mineral
(2．Guilin of
Geology Resources，Guilin541004，China)
AbstractEndless diamondwireisakindof toolwith fixedonthesteel
electroplated cutting diamond矛ts
wiresubstrate．nis theselectionofsteelwiresubstrate
paperexpounds material，weldingmethod，andpro-
duction diamondwire
ofendless saw．111e on self-made
process by
electroplated slicingexperimentpolysilicon
saw
endless diamondwire wa$conducted．Tthe were20—40m／s
electroplated cuttingprocessingparameters
wiresaw feed and
workpieeespeed60—100Nwiresawtension．ne results
speed，2一lOrnm／min experiment
is
showedtIlatthesurfaceofsiliconwafer Rais
smootll，tlleroughhess
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