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喷墨打印技术在薄膜传感器中的应用.pdf

· · 136 材料导报A:综述篇 喷墨打印技术在薄膜传感器中的应用。 熊 丹1,岳燕丽1,谭瑞琴1,沈文锋2,黄琦金2,许炜2,宋伟杰2 (1宁波大学信息科学与工程学院,宁波315211;2中国科学院宁波材料技术与工程研究所,宁波315201) 摘要 传感器技术是荻取自然和生产领域中信息的主要途径与手段,新型薄膜传感器正向微型化、数字化、集 成化等方向发展。喷墨打印技术作为一种非接触式的数字成型技术,有设备简单、制备成本低、操作灵活等优点。从 喷墨打印技术的原理入手,综述了喷墨打印技术近年来在传感器制备中的最新进展,系统介绍了喷墨打印技术在制 备湿度传感器、气敏传感器、光传感器、生物传感器中的应用,并对喷墨打印技术制备薄膜传感器的前景进行了展望。 关键词 喷墨打印传感器导电膜电极 中图分类号:TP212文献标识码:A x.2015.09.022 DOI:10.11896/j.issn.1005—023 of toThinFilmSensors ApplicationInkjet PrintingTechnology XIONG Danl,YUEYanlil,TAN Ruiqinl,SHENWenfen92, HUANG Wei2,SONG Qijinz,XU Weijie2 (1 ofInformationScienceand 315211;2 InstituteofMaterial College Engineering,NingboUniversity,NingboNingbo and of 315201) TechnologyEngineering,ChineseAcademySciences,Ningbo AbstractSensor isthemain obtain ofnature to informationand technology way production.Thedeveloping trendsofthinfilmsensorsare and isanon-contact miniaturization,digitizationintegration.Inkjetprintingtechnology whichhasthe of cost,flexible re— forming advantages operation,etc..The digital technology simpleequipment,low cent inthe of tosensorfabricationisreviewed.Detailedintroductions printingtechnology progressapplicationinkjet forit

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