氟掺杂氧化锌透明导电薄膜制备方法的研究进展.pdfVIP

中国玻璃 掺杂氧化锌透明导电薄膜制备方涟 窒 丛 氟掺杂氧化锌透明导电薄膜 制备方法的研究进展 石丽芬 周拮 王友 乐 中国建材国际工程集团有限公司 安徽 蚌埠 233018 摘 要：氟掺杂氧化锌透明导电薄膜(FZ0)与锡掺杂氧化铟薄膜 (ITO)和氟掺杂氧化锡薄膜(FTO)相比，不仅性 能相似，还具有很多它们无法比拟的优点。因此，制备氟掺杂氧化锌透明导电薄膜成为研究热点之一。本文综述了氟 掺杂氧化锌透明导电薄膜制备方法的研究进展，并对各 自的优缺点进行 了讨论。 关键词：氧化锌薄膜；氟掺杂；制备方法 ResearchProgressofPreparationM ethodofF——Doped ZnO TransparentConductiveFilm ． Shi n ZhouZhe W ng Youle ChinaTriumphInternationalEngineeringCo．，Ltd Bengbu Anhui 233018 Abstract：ComparingwithSn—dopedIra03film (ITO)andF—dopedSnOfilm (Fro)，F—dopedZnOtransparent conductivefilm (FZO)hasthesamepropertiesandmanyuniqueadvantages，therefore，itspreparationisahottopicfor research．Thispaperdescribesresearchprogressofitspreparationmethodanddiscussestheadvantages＆ disadvantagesof eachmethod． Keywords：ZnOfilm；F—doped；Preparationmethod 膜具有低电阻，高可见光透过率，无毒性，储量丰富， 1前言 低成本 ，易制造，在H+等离子体氛围中的高稳定性 透明导电薄膜广泛应用于太阳能电池、屏幕显 诸多优点成为透明导电膜研究的重点。为了提高氧 示、红外反射窗口、热镜、低波长激光器、高密度存 化锌透明导电膜的导电性和可见光透过率，引人其 储、光纤通信等许多领域。在相当一段时间内，研究 他元素对氧化锌薄膜进行掺杂。Ⅲ族元素掺杂氧化 较多的是 ITO薄膜和 Fro薄膜。但由于氧化锌基薄 锌透 明导电薄膜 已经在进行了大量的研究。 目前， P和 rfI参数都相对设置大一点。为了能够更快的稳 定系统，在投入 自动过程中，限定调节阀的输 出范 围，这样不至于因为参数设置不够理想而导致超渊 量过大 ，影响生产 的正常进行。 6结束语 幽 5 了解 了以上PID参数的性质，并不-一-一定能够很 本系统一次性成功投入生产运行，产品质量在 好的调试温度参数，因为即使是同样的气动蝶阀，调 最短的时问达到了优等。通过以上方式编程和调节 节不同的温度 ，设置 的参数也不一样 ，例如A区，B 不仅能够更经济、更有效地组织生产，而且还能够降 区，(区温度相差 比较大 ，参数设置的也不相同。同 低能耗 ，减少运行费用