精细线路制作影响因素的探讨.pdfVIP

目前，电子元器件小型化、微细化的茇展对PCB产品的精细化和高密度化发展提出了迫切的要 求。对于精细导线的制作主要指：(1)需要制作的线宽／线距尺寸十分微细，如：≤80um，甚至已小 到50um的线宽与间距或更小；(2)导线线宽的精度要求很高、误差根小．如±10％或更小±5％n如 果80um的线宽与间距．按照±10％的精度，误差就要控制在：±8um按照±5％的精度．误差就要控 制在：+4um。很显然．导线线宽越小．精度要求越高。 为了适应L游客户提出的要求，有必要结合现有的生产设备进行深八研究。本文就我司的酸蚀 设备．对线路走向、不同的线间距、线路在板面的币同位置三个影响因素进行探讨r为进步的生 产能力改进和提升及品质控制提供参考。 2、试验方法厦过程 2 1 i：兰；层前处理一贴膜一曝光(固定x号机)一蚀刻(固定在v号线)一做切片．金相显微 镜(200倍)测量线宽，收集数据 注：以上各流程的参数均按照我司正常生产板的参数，蚀刻为水平蚀刻工艺。 2 2测试图形的设计 (i) 12mil、20mil，见图I。 围1 图2 (2) 蔷一一 a 方向划分为8个