Cr1-xAlxN涂层的微结构和抗氧化性能研究.pdfVIP

维普资讯 Cr。 一 AlN涂层的微结构和抗氧化性能研究 钟春 良。董师润 。喻利花。许俊华 (江苏科技大学材料科学与工程学院，江苏 镇江212003) [摘 要] 采用磁控反应溅射法制备了一系列不同Al含量的cr AlN涂层，通过能谱仪 (EDS)测试涂层的成分，x射线衍 射仪 (XRD)表征涂层的微结构，扫描电镜 (SEM)观察涂层的表面形貌，研 究了Al含量对涂层的微结构和高温抗氧化性能的影响。 结果表明，涂层取CrN的面心立方结构生长，且呈(111)择优取向。随着A1含量增加 ，涂层的晶格常数减小，涂层的高温抗氧化性能 显著提高。Cr06356A1。，N涂层随着氧化温度的升高，表面的Al含量略为上升，在900~C涂层产生裂纹失效。 ． [关键词]磁控