等离子体增强化学气相沉积制备的ZnO薄膜研究.pdfVIP

维普资讯 第35卷 第6期 表 面 技 术 Vo1．35 NO．6 2006年 l2月 SURFACE TECHNOLOGY Dec．2O06 等离子体增强化学气相沉积制备的ZnO薄膜研究 郭爱波，刘玉萍 ，陈枫 ，李斌 ，但敏 ，刘明海，胡希伟 (华中科技大学电气与电子工程学院，湖北 武汉430074) [摘 要] 鉴于ZnO薄膜材料的多功能性，用等离子体增强化学气相沉积方法在金属cu和普通玻璃上生长了ZnO 薄膜?扫描电子显微镜获得其表面形貌；能谱分析获得其元素种类及相对含量，在能谱图上明显地观察到 了zn峰和0峰 的存在，且 Cu基上zn和 0原子比接近 l：l；X射线光 电子能谱分析得出样品中的zn和 0全部以化合态存在而不存在 zn