强电流直流扩展弧金刚石沉积技术的研究.pdfVIP

维普资讯 刘素田等 强电流直流扩展弧金刚石沉积技术的研究 强电流直流扩展弧金刚石沉积技术的研究 刘素田，黑立富，耿春雷，唐伟忠，吕反修 (北京科技大学材料科学与工程学院，北京 100083) [摘 要] 采用自行研制的Q一500金刚石涂层沉积设备，同时采用两种不同结构的等离子体炬对经酸碱二步法处理后 的硬质合金钻杆(YF06)分别进行了金刚石涂层的沉积，并对沉积后的样品表面进行 了分析和研究。初步的研究结果表明： 等离子体炬的结构对金刚石涂层的沉积影响很大，改进前的等离子体炬所产生的弧柱不稳，导致沉积温度波动幅度大，而改 进后的等离子体炬能产生稳定的弧柱，沉积温度变化不大并且沉积的金刚石涂层具有大面积、均匀性好和高质量的特点。 [关键词] 强电流直流扩展弧；等离子体炬；改进；金刚石涂层；均匀性 [中图分类号]T1M3 [文献标识码]A