金属和陶瓷配副件条件下TiN薄膜的摩擦学特性.pdfVIP

维普资讯 第 37卷 第 3期 2008年 6月 表表面囱技投不术 Vo1．37 No．3 Jun．2008 SURFACE TECHNOLOGY 金属和陶瓷配副件条件下TiN薄膜的摩擦学特性 谢红梅 ，张碧云，卢春灿，聂朝胤 (西南大学材料科学与工程学院，重庆 400715) [摘 要] 多弧离子镀TiN薄膜具有广泛的应用。采用多弧离子镀技术在不锈钢衬底表面沉积了TiN薄膜。用显微硬度计测 试了TiN薄膜的硬度，用往复球一盘式摩擦磨损试验机评价了在GCrl5和si，N 两种不同配副件及空气中干摩擦条件下TiN薄膜的 摩擦学性能，用表面轮廓仪测试了磨痕处的磨痕轮廓 ，用配有能谱仪(EDS)的扫描 电镜(SEM)和x射线光电子能谱 (XPS)观察和测 试了磨痕形貌和磨痕处主要化学元素组成，用金相显微镜观察了配副件