反应溅射TiO%2fAlO和TiN%2fAlN薄膜的微结构与力学性能.pdfVIP

维普资讯 第34卷 第5期 表 面 技 术 VoI．34 No．5 2005年 1O月 SURFACE TECHNoLoGY oct．2005 1试验研究 I 0 ： ：、 、 反应溅射 TiO／A10和 TiN／A1N薄膜 的微结构与力学性能 赵文济 ，李一睿 ，胡祖光 ，许辉 ，祝新发 ，李戈扬 (1．上海交通大学金属基复合材料 国家重点实验室，上海 200030；2．上海工具厂有限公司，上海 200093) [摘 要] 采用 —Al镶嵌复合靶在Ar、N2和O 混合气体 中反应溅射制备了一系列TiO／AIO和TiN／AIN薄膜，并采用 EDS、XRD、TEM、AFM、SEM和微力学探针研究了薄膜的化学成分、微结构和力学性能。结果表明，随氧分