多孔阳极氧化铝膜的最佳制备工艺研究.pdfVIP

维普资讯 第35卷 第3期 表 面 技 术 VO1．35 No．3 2006年 6月 SURFACE TECHNoLOGY Jun．2006 多孔阳极氧化铝膜的最佳制备工艺研究 李淑英。宋琛 (大连理工大学化工学院，辽宁 大连 116012) [摘 要] 为了得出多孔阳极氧化铝膜的最佳制备工艺，利用正交试验法研究了制备多孔阳极氧化铝膜的影响因 素：氧化时间、氧化电压和扩孔时间，分别讨论了各影响因素对阳极氧化铝膜的单独作用；通过扫描 电镜(SEM)、x射线衍 射仪等观测了阳极氧化铝膜的形貌和结构特征，结果表 明：氧化膜上的微孔分布均匀，孔径大小基本相 同，平均孔径约为 150nm．孔密度约为2．5×10 个／cm ；得出阳极氧化最佳制备工艺：温度20qC，反应时间120min，反应电压 115V，扩孔时间 6min。