用于电极的导电金刚石薄膜及其制备方法.pdfVIP

维普资讯 李璞等 辅助气体CH 和Ar对 IBED制备碳膜性能的影响 分析表 3，纯碳膜中CH 辅助轰击比Ar辅助轰击能减小碳 膜的摩擦因数，这是因为CH 辅助轰击时自身会发生分解产生 3 结 论 H原子，导致c—H类型的sp3结构的增多。在磨损过程中，碳 膜表面的sp键和摩擦副中的黑色金属接触时易于向sp2转变， 1)采用CH 辅助轰击的薄膜厚度高于Ar辅助轰击的薄 在转变过程中受摩擦形变的影响使碳膜的类石墨原子排列面平 膜厚度。 行于摩擦面，从而减小接触面间的剪切力而提高碳膜的减摩性。 2)采用Ar辅助轰击的薄膜在硬度、结合强度方面要优于 2．3 电阻率的测试 CH 辅助轰击的薄膜； 测试薄膜电阻率的目的是判断我们制备的碳膜究竟是 以