半导体电火花线切割加工电流脉冲概率特性及伺服控制研究.pdfVIP

《电加工与模具)2013年第4期 设计 ·研 究 半导体电火花线切割加工电流脉冲 概率特性及伺服控制研究 潘慧君，刘志东，黄赛娟，邱明波，田宗军 (南京航空航天大学机 电学院，江苏南京 210016) 摘要 ：对当前基于金属加工的电火花伺服控制系统在半导体 电火花加工中失效的原因进行 了 分析。由于半导体加工中采样电压不再只是放电通道电压，而是由放电通道电压、半导体体 电阻压 降和接触势垒压降之和组成 ，使系统无法准确识别加工状态，导致无法进行准确的伺服进给 。对进 给速度与电流脉冲概率的关系进行 了研究．提 出了一种全新的基于电流脉冲概率的半导体 电火花 加工伺服控制方法，对相关系统参数进行了优化 ．最终实现了半导体电火花高效、精密、稳定加工。 关键字：半导体 ；电火花线切割加工；伺服控制；电流脉冲概率 中图分类号 ：TG661 文献标识码：A 文章编号：1009—279X(2013)04—0028—04