场致射流微细放电加工方法.pdfVIP

设计 ·研 究 《电加工与模具}2013年第3期 场致射流微细放电加工方法 许开仙 ，康小明，赵万生 (上海交通大学机械与动力工程学院机械系统与振动国家重点实验室 ，上海 200240) 摘要 ：放 电加工方法具备微纳米尺度加工的潜力。在微细放电加工过程 中，微 小的电极尺寸使 电极损耗变得更明显 ，从而影响加工精度 ，因此需要有效地补偿 电极损耗 。为 了解决这一难题 ．提 出一种利用场致射流作为工具 电极进行微细放电加工的方法——场致射流微细放 电加工 该方法 以场致射流作为工具 电极 ，不存在 电极损耗及补偿 问题 ．且依靠毛细管效应和所施加的电场 即可 实现 电解液的自动供液而无需泵阀等元件。实验发现，射流放电可产生有效的材料去除，产生的单 点放 电蚀坑直径为 2 m左右，表明场致射流微细放 电加工是一种有效的微细加工方法，值得进一 步研究。 关键词 ：微细放电加工 ；场致射流 ；微细工具电极 中图分类号