电化学腐蚀法制备倒锥状微细电极的试验研究.pdfVIP

《电加工与模具}2011年第1期 设 计 ·研究 电化学腐蚀法制备倒锥状微细 电极的试验研究 谢岩甫，刘 壮 ，陈 伟 (南京航空航天大学／江苏省精密与微细制造技术重 实验室，江苏南京 210016) 摘要 ：以电化学腐蚀加工法为基础，提 出了一种加工复杂形状微细 电极的工艺方法。利用端面 绝缘 的方法改变阳极 的局部导 电性 ，使 阳极和 阴极之 间的电场分布发生变化 ，从而得到倒锥状微细 电极 。通过试验成功地制备 出倒锥状微细 电极 ，并结合对 比圆柱状 电极进行 了微孔 电解加工试验 ， 结果证明倒锥状 电极在微孔电解加工中能获得更好的加工定域性。 关键词 ：电化学腐蚀 ；微细电解加工 ；微细电极制备；加工定域性 中图分类号：TG662 文献标识码 ：A 文章编号 ：1009—279X(2011)0l一0O18—05 ExperimentalInvestigationonFabricationofInvertedCone——shapedM icro—-elec