复合电铸CoNiMnP-BaFe12O19磁性复合材料工艺研究.pdfVIP

设计 ·研 究 《电加工与模具)2009年第1期 复合 电铸 CoNiMnP．BaFe12019磁性复合材料工艺研究 焦 峰 ，曲宁松 ，朱增伟，李学磊 (南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室，江苏南京 210016) 摘要 ：磁性驱动器在微机 电系统 中有广泛的应用前景 ，获得 电磁驱动的主要方法是在微驱动 器表面电铸一层磁性镀层。该文采用复合 电铸技术制备 了CoNiMnP—BaFe。O，磁性纳米复合镀 层，分另q用SEM、EDS和VSM对复合镀层表面形貌、成分及 电铸工艺参数(电流密度、搅拌强度、溶 液温度及 电铸时间)对复合镀层矫顽力 Hcl的影响进行分析 。实验结果表明：BaFe。O 纳米颗粒的 加入改变了Co、Ni、Mn和P在镀层 中的含量 ，增大了镀层的表面粗糙度值 ，通过控制电铸参数可有 效地调节镀层 的矫顽力。 关键词：复合电铸 ；CoNiMnP—BaFeO。纳米复合镀层 ；电铸参数；磁性能 中图分类号 ：TQ153．4；0482．5 Co