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维普资讯 第27卷 第6期 材 料 热 处 理 学 报 Vo1．27 No ．6 TRANSACTIONSOFMATERIALSAND HEATTREATMENT December 2006 2006年 12月 沉积和退火温度对多晶ZnO薄膜结构特性的影响 李荣花 (绍兴文理学院计算机系，浙江 绍兴 312000) 摘 要：采用 RF反应溅射法在 Si(1l1)衬底上制备出了沿 c轴高度取向的多晶ZnO薄膜。通过对 ZnO薄膜 的X射线衍射(xRD)分析 ，研究了沉积温度及退火对多晶ZnO薄膜取 向性、晶粒大小和应力 的影响。结果表明，衬底温度和退火温度对多晶ZnO薄膜的晶体结构影响显著。适当的提高衬底温度 或适当的增加退火温度都能有效地改善 ZnO薄膜的结构特性，但增加退火温度更有优势 。同时原子力 显微镜观察表明，退火能有效地 降低