硅%2f碳化硅高温热处理中组织及相组分变化.pdfVIP

维普资讯 维普资讯 2 宴验结果 用反应烧结 ，法 ifl备僻到硅，碱化硅 试群 平均 密度为 3．f)392 fl『1『，!l气孔率 ，，-o19疆左卉 沧 推算 出SiC和 Si的体识比约勾873：I2．7 经过高温 热处 后酞样 的密度和开气扎率 如表 l所示 L人表 Ir ¨r以看 ，经热处坤后试样的气扎 举几乎不发 牛 变化．而 密 度则略 有 上二升 热 处理 斌样的 x利 线 衔射对 比分析{cj【图 I所 示 可以看出栩组戊[包含育 n—Si(：．?一SiC和 Si扣 由于4是 ^同一 个试样 进 行 的，每个斌样中的备 f自青 ， 的趋势为随肴 热处理温度 的提高，“一Si(：中H含 吊增高 口一SiC栩禽量 减少 而硅 的含量 堪车保持 小亳 裹 1 不同温度下 热处理后试样 的密 度和气孔率 17ahlu1 FhedensiDlind 1)0r州it _lrspecimenstreated aldifl~rellttem perature 热处婵试样的川 形态蛔 2断示