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维普资讯 第29卷 第4期 材 料 热 处 理 学 报 Vo1．29 No ．4 2008年 8月 IRANSACFIONSOF MATERIALSAND HEAT TREATMENT August 2008 离子注入与沉积 TiN膜层中的残余应力 刘洪喜 ，‘ 蒋业华 ，‘ 周 荣 ，‘ 冷崇燕 ，‘ 汤宝寅 (1．昆明理工大学机 电工程学院材料成形与控制系，云南 昆明 650093； 2．哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室，黑龙江 哈尔滨 150001) 摘 要：利用掠入射 x射线衍射 (GIAXRD)研究 了GCrI5轴承钢表面等离子体浸没离子注入与沉积 (PIIID)氮化钛 (TiN)薄膜后 膜层表面的应力状态。用 x射线衍射 (XRD)分析 了处理后膜层 的化学组成 。探讨 了薄膜厚度和掠人射角对