努力打造中国MEMS发展的技术平台.pdfVIP

综 述 努力打造中国 M E M S 发展的技术平台 M EM S 重大专项总体组 ( ) [ 摘 要] 微机电系统 MEMS 是多种学科交叉融合具有战略意义的前沿高技术 ,具有多样性 、边 缘性和综合性的特点 ,在信息、环境检测 、生化分析 、自动控制 、航空航天和国防等领域有着极为广 ( ) 阔的应用前景 。同时 MEMS 技术又是一种使能技术 enabling technology ,MEMS 只有在制成装置或 在系统中应用后 ,才能真正体现它的高附加效益并形成现实市场 ,MEMS 技术的进步为相关行业 实现跨越式发展提供了机遇 。“十五”863 计划 MEMS 重大专项的实施 ,将会造就一批高水平的人才 队伍 ;逐步建立起中国自己的研发体系 ;拥有自主知识产权的 MEMS 技术平台 ,为“十一五”产业化 的形成奠定良好的基础 。 1. 国家“十五 863 计划 M EM S 重大专项的 术实现及九十年代的持续研发努力 , 目前已有部分 总体 目标 MEMS 产业化 ,在发达国家 , 昨天大规模的科技研究 针对国际 MEMS 发展趋势和未来的产业化前景 , 已逐渐转变为今天的政府 、工业和商业的共同投资 。 结合国家竞争前核心技术发展战略 , 围绕生物化学分 国际 MEMS 产业化代表性产品有 : 析 、工业 自动化 、信息技术等行业的社会经济发展需 硅微型压力传感器 :在汽车行业 ,美国通用公司 要 , 以发展我国 MEMS 产业化基础的关键技术作为切 压力传感器可以在 - 40 ℃～125 ℃范围内工作 ,误差 6 入点 ,掌握 MEMS 相关的设计 、加工 、测试 、封装 、 小于 1 % ,失效率仅 3/ 10 , 现在的年产量超过 1000 装配和系统集成等方面的具有 自主知识产权的理论 万只;福特汽车公司开发的硅电容式绝对压力传感器 方法和关键技术 ;开发出若干小批量 、多品种 、高质 也在汽车工业大批量使用 ;摩托罗拉公司为克莱斯勒 量的 MEMS 器件及系统 ;逐步建立起我国 MEMS 研发 公司提供大批量的硅压力传感器 。由于硅压力传感器 体系和产业化基地 ,提高我国在 MEMS 领域的核心竞 的大量使用 ,极大地提高了汽车燃料的使用效率 ,在 争力 ,为推动 MEMS 的可持续发展和产业化打下良好 过去的 20 年里 ,平均从 4 Km/ L 提高到 12 Km/ L , 因而 的基础 ,并在某些方面进入国际领先水平 。 也降低了污染 。 2 . 国际M EM S 产业化代表性的产品 在医疗工业 ,在没有使用 MEMS 压力传感器前 , ( 微机电系统 Micro - Electro - Mechanical S stems , 血压计的价格约为 600 美元 。由于 MEMS 压力传感器 y ) MEMS 是在微电子技术的基础上发展起来的、融合了 成功使用 ,包括传感器 、软管和阀在内的血压计低于 硅微加工和精密机械加工等多种微加工技术 。MEMS 10 美元 ,而且安全可靠且一次性使用 。这种血压计的 一词出现在 1989 年 ,是通过单片或多片集成技术实 年产量达到 17 ×106