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1.适用范围 KqBk~-G ?1.1 本施工规范仅提供超高纯气体管道现场安装的有关说明。 qp r*17T ?2.现场施工流程 `ps)0!L L` ?现场讲解—施工草图—装置支架—管道架设—管道焊接—标签粘贴 dm0QcW4 ?3.施工图确认 5^]+5_vb ?3.1 确认图纸是最新更改和准确的; -Fb8: m ?3.2 在无施工图的情况下,双方应根据现场情况进行协商,由施工方绘制草图并经用户方批准方可开始施工 W;bu2ymQ ?4.材料的准备 MZ Aij ?4.1 材料的接纳与检查 (WJ${OW ?1)确认材料的品名、型号、质量、数量符合设计施工图及施工规范的要求; -@T/b$]n ?2)检查材料的“微粒测试报告”、“压力及泄露测试报告”、“粗糙度测试报告”; n6s}ww) ?3)确认材料的内外包装皆无破损。 nX$XL=6mJ ?4.2 材料的储存与搬运 ^G6RjJxqp8 ?1)材料必须保存在现场专用仓库或净化小室内; EwOV;@T? ?2)储存材料时,必须使用专用的货架或柜子,不可多用途材料混放; 3p0LNq]A ?3)不可将材料直接放置于地上; v|U( +O ?4)EP材料与非EP材料必须有明显的区分标记; /_ `lz^ ?5)材料使用前,内层包装不可打开。材料进入洁净区之前,外层包装必须除去。 BJ% eZ. ?5.安全事项 ]Kr `9r), ?1)指定专人办理安全事宜。 ~%YBI9$+ ?2)工作区域内禁止抽烟。 ;qrB\j ?3)必须准备安全眼镜。 ki85!k=Q2 ?4)任何时间内,均不得堵塞通道及入口。 OF\rgz ?5)在工作区域工作,必须保持干净。 $ sEy%- ?6)如果有意外发生,须立刻告知监工。 |+T1XYG5 ?7)特殊危险工作区,须有安全围栏及警告标志。 q5?# 3T= ?8)地板开口处,须有安全围栏及警告标志,以防止人员掉入。 ]MxC_V+P` ?9)须备有灭火器以防火灾,灭火器仅可使用泡沫灭火器,不可使用干粉灭火器。 }mAa}{_ ?10)工作架在超出地面2m以上时,须使用脚手架或梯子,人员须系安全带。 p`l0?^r c ?11)脚手架、梯子及工具,须保持良好状况。 VY3 ?12)在超出地面2m以上时,工具须放置工具袋(箱)内。 .FLy;_f+ ?13)所有使用之电缆及电线,须有良好绝缘。 t2l S ~l) ?14)电缆及电线须连接良好,不可以电线直接插入插座。 C,@cN}B ?15)必须使用保险丝,不可以钢丝替代。 ,gS;m !J ?16)电缆及电线须正确使用,不可过载。 -:na: Vsi ?17)电力供应盘须标示警告标志“高压危险” Qc pm ! ?18)所有圆柱型物品须直立,并以链条或绳索固定。 `| / \ ?19)任何阀、开关插座、电源插座,不可随意开、关、拔除(机台管线)。 TTKs3iTXz ?20)任何配管配线、材料,非经过监工人员同意,不可擅自任意更改。 2Tag r1L ?6.管道的准备 K29mDn ?6.1 一般事项 %;rHrDP( ?1)严禁用裸手触摸管道及部件; {oj6RS\ ?2)材料的内层包装必须在净化区才能打开; m5r7 ?3)管道及部件离开净化区之前必须进行吹扫、封口、包装。 d+h}O ?6.2 轮式切管器截断作业 xn t ?1)仅适用于小管径截断作业; [@5Ytv H ?2)切管时必须缓慢进刀; CW,Wx:Y ?3)必须经常使用IPA或PCA擦洗刀片; ~1.A(,=z ?4)严禁使用油脂; PEW=@xj2y ?5)刀片必须经常更换。 (aHh1,G ?6.3 轨道式切管截断作业 M.66O@ ?1)管道必须卡紧在卡盘中但不可使管道变形; A}3=561F?5 ?2)必须经常使用IPA或PCA擦洗刀片; ~Hr}] ?3)严禁使用油脂; +,#$:fs u ?4)如果空间允许,作业时应使将被切掉的一端端口朝下。 IXd`O61*g ?6.4 管道的吹扫 V7Ek-2M ?1)在管道的截断作业及铣平面作业时必须对管道进行吹扫; {M^3m5.^ ?2)在管道的截断作业及铣平面作业时,吹扫气体的出口必须在短管一端; KDR Jz ?3)建议的气体流量如下: paD!Z0v ?1/4″~3/8″???? 1 SCFM(28 L/min) F7O
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