热处理对化学镀薄膜结合强度影响.pdfVIP

维普资讯 第11卷第3期 腐蚀科学与防护技术 v。1．11N。．3 1999年 5月 CORROSION SCIENCEAND PROTECTION TECHNOLOGY May1999 — f68 热处理对化学镀薄膜结合强度影响 ‘ 谢 中维 郭 薇 (钢铁研完 。磊 研磊。五 100。81) 摘 要 利用刮剜式结合强度测量方法，研究了热处理制度对化学镀 (NiP和NiB)薄膜结合强度的 影响 ，以及薄膜硬度与结合强度之问的美系．结果表明-化学镀薄膜的结合强度明显地受热处理温 度的影响 ，在 2ooC热处理后获得最高结合强度 关键调丝兰壁妊堕堕 is 对七雹， 学科分类号 T~153．2 以往对化学镀薄膜的结合强度多采用划痕法测量 ，其结果只是对薄膜结合强度的一个定 性描述 ．近年来出现了一种新的薄膜结合强度测量方法一刮剥法[3．43．刮剥法测量薄膜结合 强度的原理如图1所示．该方法 的特点有：(1)使用特制的刀具 以及顶留有无薄膜区的试样． 沿基底的表面对膜 ／基界面切 向加载．在刮剥过程中 ．刀具沿 基底表面切 向楔入膜 ／基界面， substrate 使得薄膜沿界面与基底剽离． 在这种加载方式下，刀具与薄 膜间无直接梧互作用．(2)通过 Fig．IAdhesion measurementprocess by scraping method． ( ) 测量出单位刃宽刮剥刀具在无 $chem．tl~diagram ofthep~ocessofscrapingtest-(b)scrapingc一 ·甜 thecalculation adhesion 薄膜区与基底表面 的磨擦能 o 以及在有薄膜 区的薄膜剥离能量 ．以剥离过程中进入薄膜前后的单位面积耗能之差 f f △ = 一 o=(JP—d1)／l一(JlnPod) 作为薄膜 ／基底问结合强度的量度．由此可见．由 于将基底表面状态、材质特性等的影响(o)从测量结果中消除出去，所以刮剥法所测结果是 一 个与基底状态无关的膜 ／基结合强度．本文以刮剥法结合强度j圉试结果为基础，对两种典型 的化学镀 (NiP和 NiB)薄膜经不同温度热处理后的结合强度变化进行研究 ．以了解非晶薄膜 结合强度与薄膜硬度及微观结构的关系． ·国家 自然科学基盒资助 ．No 收刊初稿#1997—09—04．收蓟修改稿 l1997-11—17 维普资讯 腐蚀科学与防护技术 11卷 1实验方法 研究的非晶化学镀薄膜为NiP和NiB薄膜．薄膜制备采用的是标准的化学镀方法，基片 为高速钢 ，表面经金相砂纸细磨，抛光处理，硬度HRC65~68．试样， 制备过程包括基片的去油、 目g ． 《 § 置 A0曼 酸洗、表面活化以及化学镀NiP／NiB薄膜．NiP化学镀溶藏采用的是次亚磷酸钠、硫酸镍为主 盐的常用配方 ；而化学镀 NiB薄膜溶液则采用以氯化镍、乙二胺和硼氢化钠为主盐的碱性溶 液镀覆．膜厚约 10u,m．镀成的NiB薄膜 B含量为5wt ．薄膜在镀覆时，通过对基片局部区域 的遮盖，得到有小块无薄膜区的样品用于进行刮剥法薄膜结合强