石英表面蚀刻保护涂料的制备及其性能.pdfVIP

维普资讯 第 15卷 第 2期 腐蚀科学与防护技术 Vo1．15No．2 2003年 3月 CORROSION SCIENCEAND PROTECTION TECHNOLOGY Mar．2003 石英表面蚀刻保护涂料的制备及其性能 唐冬雁 吕祖顺 强亮生 夏新华 哈尔滨工业大学应用化学系 哈尔滨 150001 摘要 采用聚苯乙烯 (PS)~IT-烯与苯乙烯的嵌段共聚物(SSS)为成膜物，以硫酸钡、聚异丁烯为填料和改性剂， 并加入偶联剂，获得有较强防腐能力的蚀刻用保护涂料并筛选出最佳工艺条件．在较高温度下，该涂料对饱和氟化 氢、饱和氟化氢铵溶液等强腐蚀性介质有 良好的化学稳定性，可用于玻璃、石英蚀刻中的表面防腐． 关键词 蚀刻 保护涂料 聚苯乙烯 硫酸钡 中图分类号 T(~30．7 文献标识码 A 文章编号 1002—6495(2003)02．0101—03 PREPARATIoNANDPRoPERTY0lFPR0TECTIVECoATINGFORQUARTZSURFACE TANGDongyan，LU Zushun，QIANG Liangsheng，XIAXinhua Department AppliedChemistry，HarbinInstituteofTechnology，Harbin150001 ABSTRATC A kindofhigheranticorrosioncoatingusedforetchingprocessesofguartzwasprepared byeslectingpolystyrene(PS)andstyrene—butyldiene——styrene(SBS)asmainmembrane——forming materials，barium sulfateasfillerandpo lyisobuteneas modifiedagent．Theaffectionsofeverycompo— nentin thesystem wereex0minedanddiscussedindetail．Theoptimalproc essingparameterswerede— temr inedbyorthogonaldesign baseduponthebasicexperiments．Thepropertiesweredetemr inedby theprocess anal~guetoglass plate．Theresultsindicated that，when theratiosofPS tOSBS，oftotal amountofPStOSBSwithpolyisobuteneandtheamountofadditiveswere1：1，5：1and2％(mass％)， respectively，theimmersionratio(mass／mass)was63．9．Additionally，theobtainedcoatinghadrelative highanticorrosioneffecttOstrongacidicmedium suchasHF andNH4HF2，andshowdagoodprospect inapplicationas protectivecoatingforetchingprocess ofinorganiccomponents． KEYWDRDS etching，protectivecoating ，po lystyrene，barium sulfate 蚀刻加工中对不需要加工的部位，常用保护涂 mm～0．015mm．国内采用等离子体刻蚀，对设备条 料或保护胶有效隔离；在 以下几方面区别于一般防 件要求高、成品低、周期长、加工精度差．国外多采用 腐涂料…：(1)厚膜化；(2)含有高性能的耐蚀树脂 化学抛光减薄技术，用化学腐蚀液来腐蚀晶片厚度， 和颜、填料；(3)底材经严格表面处理，且对施工工艺