硅外延和其应用_徐远志.pdfVIP

20 13 6 Jun． 20 13 年 月 云南冶金 42 3 ( 240 ) YUNNAN METALLURGY Vol. 42 ． No. 3 (Sum240) 第 卷第 期 总第 期 * 硅外延及其应用 1，2 2 2 ， ， 徐远志 胡 亮 吴忠元 (1． ， 650031 ;