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石墨烯∶聚合物复合薄膜的图形化制备与非易失性存储性能研究.pdf
年第 期( )卷
07014 2015 7 46
文章编号: ( )
1001-9731 2015 07-07014-05
石墨烯 聚合物复合薄膜的图形化制备与非易失性存储性能研究∗
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吴朝兴 李福山 郭太良
( , )
福州大学 物理与信息工程学院 福州 350002
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摘 要 采用旋涂技术 光刻技术 蒸发镀膜技术制 而作为原理性研究 大部分工作都是采用旋涂方法在
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备以图形化石墨烯 聚合物复合薄膜为活性层 具有 电极表面制备整层的活性层 这显然与实际应用无法
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氧化铟锡 石墨烯 聚合物 铝交叉型夹层结构的阻变 兼容 因为在实际的器件中 该阻变层必须选择性地
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器件 采用光刻胶为有机基体 实现阻变层的可图形 沉积在特定的区域 才能与二极管或晶体管阵列连接
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化 通过优化石墨烯浓度 获得具有优良性能的可擦写 从而克服 窜扰 效应 因此 图形化的石墨烯 聚
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非易失性阻变存储器件 讨论其阻变机制 实验表明 合物复合薄膜的制备对于实现阻变存储器的应用具有
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当石墨烯浓度为0.01% 质量分数 时 器件具有最佳 重要的意义 为了实现阻变活性层的图形化 本文以
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的阻变特性 其开关比达8.9×10 且表现出良好的数 感光胶为有机基体 实现石墨烯与感光胶的均匀稳定
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据维持能力 复合 通过对石墨烯浓度的优化获得具有阻变效应的
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关键词 石墨烯 阻变存储器件 图形化 有机 无机 可图形化石墨烯 聚合物复合薄膜 并研究其阻变机
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杂化
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