面向微装配的真空吸附控制系统研究.pdfVIP

2014年 4月 机床与液压 Apr．2014 第42卷 第 7期 MACHINET0OL HYDRAULICS Vo1．42No．7 DOI：10．3969／j．issn．1001—3881．2014．07．005 面向微装配的真空吸附控制系统研究 张嘉易，王永杰，郝永平，刘周林 (沈阳理工大学辽宁省先进制造与装备重点实验室，辽宁沈阳 110159) 摘要：微装配是实现 MEMS器件封装的关键技术。以微小零件的装配为研究对象，结合实验室现有的精密位移台和 CCD工业相机 ，以USB2831数据采集卡为基础搭建了硬件系统，以VC++6．0为系统软件开发平台，采用基于动态链接库 的方法编写了真空吸附控制系统软件。通过对 5个不同形状微小零件的装配 ，装配精度达到4．9 m。验证了控制系统搭建 的可行性，控制系统软件操作简单可靠 ，具有较强的实用性。 关键词：微装配；动态链接库 ；真空吸附 中图分类号：TH166；TP311．5 文献标识码：A 文章编号：1001—3881(2014)7—016—4 StudyOfVacuum SuctionControlSystem forM icro．assembly ZHANGJiayi，WANGYongjie，HAOYongping，LIUZhoulin (KeyLaboratoryofAdvancedManufactureandEquipmentofLiaoningProvince，ShenyangLigongUniversity， ShenyangLiaoning110159，China) Abstract：Micro—assemblyisthekeytechnologytoachieveMEMSdevicepackage．Bytakingtheassemblyofsmallpartsasare— searchobject，combinedwiththelaboratoryprecisionmobileplatformandCCDindustrialcamera，ahardwaresystemwasbuiltbased ontheUSB2831dataacquisitioncard．WiththeVC+ +6．0assystem softwaredevelopmentplaftomr ．andbasedonthemethodofdy— namiclinklibrary，thevacuum adsorptioncontrolsystem softwarewasprepared．Throughassemblingoffivedifferentshapesofsmall parts，theassemblingaccuracywasreached4．9Ixm．Thefeasibilityofthecontrolsystem structuresisverified，andthecontrolsystem software’issimpleandreliablewithstrongpracticability． Keywords：Micro—assembly；Dynamiclinklibrary；Vacuum adsoprtion 目前 ，MEMS技术在医学、航空、航天及武器装 研究对于微小零件的装配控制技术的实用化具有现实 备等领域得到了广泛 的应用。微装配是实现 MEMS 意义。 器件封装的关键技术 ，随着 MEMS技术 的不断深入 在微小零件的装配过程中，黏附力取代重力起主 发展，出现了很多形状复杂 ，呈薄壁状，表面平整等 要作用。因此，对微夹持器末端输出压力的精确控制 特征的微小零件 。近几年 ，为了实现此类零件的装 就显的至关重要，压力过大会造成微小零件损坏 ，过 配控制 ，不少科研机构或院校也进行 了大量的研究。 小会影响装配精度。为此设计了一套真空吸附控制系 如：采用真空吸附驱动方式 ，在视觉系统引导和