单晶金刚石抛光研究.pdfVIP

维普资讯 20015(125) ·l7 单 晶 金 刚 石 抛 光 研 究 510090 广东广州 广东工业大学机电工程学院 王成勇 陈 君 陈春林 郭钟宁 摘要 单晶金刚石被广泛应用于超精密加工工县、电子探针和光 电子领域。抛光金刚石是获得光滑无缺陷 金刚石表面的基本手段。本文全面介绍了单晶金刚石抛光机理扣抛光工艺的研究进展。分析了磨粒机械破碎 、 机械一化学去除、机械一热化学去除、氧化化学扣机械一电去除等理论，对提高金刚石厦金刚石薄膜的平整抛光 效率和质量有较高的参考价值。 主题词 金刚石 抛光机理 1 前育 2 单晶金刚石抛光机理学说 在一切物质中，金刚石硬度最大。透明的金刚石 金刚石常见晶体形态为六面体和八面体，晶体结 不仅可以作为光彩夺 目的宝石，而且作为一种特种功 构中的主要晶面有 {100}，{1]0}和}111l，}11l}面为金 能材料，具有无与伦 比的机械、热学、光学、半导体和化 刚石解理面。对单晶金刚石抛光加工的理论主要是通 学惰性等优异性能。优质天然单晶金刚石在 自然界中 过研究八面体金刚石 {111}，}001}和}0111面的抛光而 储量极少，价格昂贵，人造单晶金刚石在抗冲击韧性、 提出的。八面体金刚石的主要平面如图 1所示。 耐热性、抗磨损均匀性、导热性和透光性等方面已超过 天然金刚石。由于单晶金刚石呈离散 “颗粒状”，因此 在半导体材料、发光材料和激光材料等领域的应用受 到了很大的限制，近年 已快速发展了采用化学气相沉 积(CVD)方法制备出全晶质多晶纯金刚石材料，它可 f】]1} f0Ol1 ；0I】} 以呈膜状附着于基体表面，故常称为金刚石膜，也可是 八面悼 立方悼 十二面悼 脱离基体的纯金刚石 “厚片”。CVD金刚石膜具有与 天然立方金刚石完全相 同的结构，因而具有与单晶金 图 1 八面体金刚石主要平面 刚石相同(或相近)的物理、化学性能。CVD金刚石膜 2．1 磨粒机械破碎 在切削刀具、电路元件散热器件(热沉)、光学窗口材料 传统的金刚石抛光方法是将金刚石粉用橄榄油或 (x光窗 口，红外窗 口)、声学振动膜等方面有广阔的应 其它一些物质拌和形成胶体或悬浮液，涂于铸铁盘上 用前景。为了获得高质量的金刚石膜表面，已研究了 使之嵌入磨盘表面，再把金刚石晶体压在铸铁盘上进 包括纯机械抛光加工 ，热化学方法，激光技术，离子束 行平面研磨。难磨削的晶向通常称为硬方向，易磨削 加工技术等若干种金刚石膜加工手 。。作者也提出 晶向常称为软方向。 了一种采用电火花加工金刚石膜的方法 。迄今 为 To|konsky(~920)第一次提出金刚石研磨过程是沿 止，传统的机械抛光加工方法在金刚石膜加工中仍 占 解理面；110}发生机械磨料破碎的理论。认为金刚石 据了一定的地位，而热化学方法是可获得最高表面质 是由许许多多till＼面体和小四面体沿解理面结构而组 量的方法。为了更好地了解金刚石及其表面在各种加 成的。加工过程中的张力产生于金刚石与磨料微粒之 工过程中的变化，深入理解 CVD金刚石膜抛光的实 间的摩擦力和金刚石表面张力。由于金刚石受张力时 质，探讨金刚石膜的最佳抛光方法及其抛光机理 ，本文 比受压力时更容易脆裂，而受张力时最易脆裂的又是 全面分析介绍了单晶金刚石抛光研究的各种理论。 与八面体面网正交的那个方 向。因此，可 以把研磨过 程看成是金刚石沿八面体晶面方向一小块一小块剥落