固结磨料研磨抛光K9玻璃的超精密加工工艺研究.pdfVIP

2012年 10月 第 5期 金刚石与磨料磨具工程 Oct.2012 第 32卷 总第 191期 DiamondAbrasi�esEngineeringNo.5Vol.32Serial191 固结磨料研磨抛光 K9玻璃的超精密加工工艺研 究 * 李 标， 李 军 ， 朱永伟 ， 夏 磊 ， 李鹏鹏， 孙玉利， 左敦稳 ( ， 210016) 南京航空航天大学机 电学院 江苏南京 摘要 采用 PHL-350型平面高速研磨抛光系统 ，通过 固结磨料研磨抛光方法进行 了超精密加工 K9玻 璃试验研 究�探讨 了不 同粒径和不同磨粒研磨抛光垫在加工 中对 K9玻璃材料去除率和表面质量 的影 � � � K9: M20/30， 响 获得 了高效率 低成本 高质量的 玻璃的超精密加工工艺 首先使用 金 刚石研磨垫研磨 3mCeO� K9 RMS0.6nm， � 然后使用 �抛光垫抛光 加工后 玻璃的表面粗糙度优于 微观损伤少 2 关键词 K9玻璃; 固结磨料研磨抛光; 材料去除率; 表面质量 中图分类号 TQ164; TG74文献标志码 A文章编号 1006-852X( 2012) 05-0001-05 ������������-��������������������K9������������ ��������������������������� LIB���， LIJ��， �H�����-���， �IAL��， LIP���-����， ��N��-��， ��OD��-��� ( C��������M���������E���������E����������，N������U����������� A����������A�����������，N������210016，C����) A�������PHL-350High-speedlappingpolishings�stem�asemplo�edinultra-precisionmachining e�perimentofK9glassb�fi�edabrasi�elappingandpolishing.Influenceoffi�edabrasi�epad( FAP) �ith differentparticlesi�eanddifferentabrasi�eonmaterialremo�alrateandsurfacequalit�oftheK9glass�as studied.Anultra-precisionmachiningprocessofK9glass�ithhighefficienc�，lo�costandhighqualit��as obtained: firstM20/30diamondFAP�asusedforlapping，then3mCeOFAP�asusedforpolishing.A �2 goodsurfaceofK9glass�ithsurfaceroughnessRMSlessthan0.6nmand�er�fe�microscratchesordamages �asachie�ed. K�������K9glass; fi�edabrasi�elappingandpolishing; materialremo�alrate;