基于有限元法的硅片冰冻固结磨料抛光温度场分析.pdfVIP

2009 年 2月 金刚石与磨料磨具工程 Feb. 2009 第 1期 　总第 169期 D iamon d Ab rasive s En gineer in g No. 1　Se ria l. 169 文章编号 : 1006 - 852X 2 009) 01 - 0032 - 04 3 基 于 有 限 元 法 的 硅 片 冰 冻 固 结 磨 料 抛 光 温 度 场 分 析 赵宇飞 　左敦稳 　孙玉利 　卢文壮 南 京航 空航天大学 机 电学院 ,南京 2 100 16) 摘 　要 　本文分析 了低温固结磨料抛光硅片的传热模型 ,并借助有限元软件 AN SYS对热传导过程进行 了仿真 ,获得了冰冻磨具在不 同抛光时刻的温度场等温图及工作 区域 的融化厚度值 。并且在相 同工艺 参数下 ,进行抛光实验 ,验证了有限元数值分析结果 。分析仿真结果表 明:环境温度为 20 ℃情况下 ,磨 削热并非是导致冰冻磨具融化 的主要原因 ,周 围空气对流换热对温度场的影响较大 ,磨具温升速度为先 快后慢 ,抛光区域的融化速度 比较稳定 。采用此有限元模型 ,可 以分析抛光时间、环境温度等参数对温 度场 的影响 ,为低温 固结磨料抛光硅片的温度场研究提供理论指导 。 关键词 　温度场 ;有限元法 ;抛光 ;低温 固结磨料 中图分类号 　TG74; TG58　　　文献标识码 　A 　 An a ly sis on tem p era tur e f ield wh en p olish in g w ith ice f ixed abra s ive s ba sed on FEM Zh ao Yufe i　Zuo D unw e n　S u n Yu li　Lu W en zhu an g Col lege of M ech an ica l and E lect rica l Eng in eering N anj ing U n iversity of Aeron aut ics and Astron au tics, N anj ing2 100 16, Ch in a ) Ab str a ct　H eat tran sfer mo del w as analyzed for p o lish in gw ith ice fixed ab ra sive s in this p ap er. W ith AN SYS fin ite e lem en t, the value of temp e ra ture field s for p o lish in g w as sim u lated. Th e temp eratu re con tou r m ap of tempe ra ture field and the me ltin g thickne ss value s o f working area of ice fixed ab rasive too l w ere ob ta ined. Po lish ing exp e rimen ts were condu cted w ith the sam e tech no logical p arame ters. Comp ar