金刚石薄膜的双波段红外光学性能研究.pdfVIP

2011年6月 第3期 金刚石与磨料磨具工程 June2011 第31卷 总第183期 Diamond＆ AbrasivesEngineering No．3 Vo1．31 Seria1．183 文章编号：1006—852X(2011)03—0027一o4 金刚石薄膜的双波段红外光学性能研究 李建国 丰 杰 胡东平 万 强 (1．中国工程物理研究院总体工程研究所 ，四川绵阳621900) (2．中南大学材料科学与工程学院，长沙4-10083) 摘要 本文针对红外光学材料对宽波段透过的要求，采用HFCVD法在硅基体上制备了红外增透的金刚 石薄膜。设计了高红外透过率的膜系结构，探讨了基体处理方式、单面、双面涂层工艺和厚度对红外透过 率的影响，并给出了相关的光谱测试结果和金刚石薄膜的微观形貌、结构表征。结果表明：双面涂层金刚 石薄膜工艺具有优异的双波段红外性能，在3．0～5．0 m波段的最大红外透过率达到80％，接近于理论 值；在8．0～l4．0Ixm波段的最大增透率达 18％，最大红外透过率达65％，与天然金刚石的透过率接近。 这对于红外光学系统的应用具有十分重要的意义。 关键词 金刚石薄膜 ；双面涂层 ；双波段；红外增透 中图分类号 TQ164 文献标识码 A DOI编码 10．3969／j．issn．1006—852X．2011．03．007 Studyon two—bandinfraredopticalpropertiesofdiamondfilms LiJianguo FengJie · HuDongping WanQiang (1．InstituteofSystemEngineering，ChinaAcademyofEngineeringPhysics， Mianyang621900，China) (2．SchoolofMaterialsScienceandEngineering，CentralSouthUniversity，Changsha410083，China) Abstract According to therequestofbroadband infrared materials，high performance infrared two-band antireflectiondiamondfilm depositedonsiliconsubstratewaspreparedbyhotfilamentchemicalvapordeposition method．Some factorsinfluencing on infrared transmission rae discussed，such asthe substrate treatment methods，thetechnologyofdiamondfilmscoatedonsinglefaceordoublefaces，thefilm thickness，etc．Related spectraltestresults，microstructureofdiamondfilmsandstructurecharacterizationweregiven．Theresultsshow thatthetechnology ofdoublefacecoatingwith diamondfilm hasexcellentinfraredtwo—bandantireflection performance．Thepeaktransmissionisabout80％ atthewaveband3．0～5．0 txm，thatisclosetothetheory value．Whenthewaveband is8．0—14．0 txm，themaximum antireflection is18％ 。thepeaktra