金刚石合成技术的新进展.pdfVIP

维普资讯 金刚石合成技术的新进展 吖、c7{ 、 一 450007 郑州磨料磨具磨削研究所 王光祖 金刚石合成技术经过近44年的发展，特别是近 1988年 DeBeer5公 司合成出重 11．0克拉的金 10年来的奋斗取得了惊人的成果。时至今 日，各国 喇石大单晶…。1992年该公司在第 3次新金刚石科 科学研究工作者对它研究的兴趣正浓。对金喇石合 学与技术国际会议上展出的金喇石复合片直径长达 成工艺技术、合成机理、提高金刚石晶体质量、拓展 75ram。 金喇石应用领域等研究仍是新世纪的重要课题。本 1990年秋的国际金刚石会议上，GE公司报道 文就90年代优质单晶金喇石静态高压合成技术、低 合成出了浓缩C 在99．99％以上的高纯度金喇石晶 压气相沉积金刚石合成技术、爆轰超细金刚石合成 体，被称为 “同位素纯 金刚石 】，最近又发表了合成 技术，以及地球与宇宙中未来金喇石资谭的探 索等 浓缩cl的金喇石晶体，这种金刚石晶体因降低了晶 同题做一综述。 体中同位素声子散射引起的导热阻抗，使其热传导 1 功能材料的优质单晶金刚石的静蛮高压合成 率比天然 Ⅱa型高纯金喇石还提高了50％，达到33 人造金喇石作为工程材料应用已有 40多年的 2*／cm．K而引起垒世界的广泛关注，被誉为人造金 历史了，但是，从事金刚石晶体生长研究的科学工作 刚石发展史上的又一里程碑。 者并没有因此而满足，而是在用CVD法开发金刚石 2 金刚石薄膜技术 晶体作为功能材料的同时，积极探索用静态超高压 苏联首先发现了生成金刚石薄膜的技术 】。 高温法制取功能材料用金喇石的高难度课题。随着 1987年 “金刚石薄膜热”在世界上兴起。 超高压高温控制技术水平的不断提高，金刚石生产 美国80年代后期，对CVD技术十分重哲 以宾 水平从80年代以来有了长足进展，90年代，在科学 夕法尼亚洲为中心，成立了 金剐石及相关材料研究 研究方面也出现了一些令人鼓舞的新突破。 喂合舍 (DRMC)，其成员共有30多个大学和企业． 高压合成技术的进展总体表现为：(1)高压合成 傍如Alia公司．Atand．T．Bed实验室、Dupont公司 腔体的扩大；(2)合成压力、温度控制技术水平 的提 等以及国家海军研究室和sDI已组成一个结晶碳技 高；(3)对原于水平杂质的控制技术。正是因为有了 术团体。1988年该研究室花费270万美元在宾夕法 上述优越条件，才取得了以下一些重要进展。 尼西州lTriangle研究所和南卡罗来那州立大学进行 表 1 国外一些公司所台成的大颗粒盒喇石量体的性艟 金喇石薄膜的基础研究。 但是，日本在金喇石薄膜研究方面，尤其是制备 技术仍然居世界领先地位。建立了金刚石薄膜的各 种制取方法，不少方法已基奉完善，一些公司正在或 着手进行企业化。 国外文献发表生长金喇石薄膜的方法有几十种 之多，但归纳起来有两大类，即CVD和PVD(物理气 相沉积)法，前