强电流直流伸展电弧CVD纳米金刚石涂层微型工具.pdfVIP

维普资讯 2007年 10月 金刚石与磨料磨具工程 0ct．2007 总第 161期 第5期 Diamond ＆AbrasivesEngineering Seria1．161 No．5 文章编号：1006—852X(2007)05—0022—05 强电流直流伸展电弧 CVD纳米金刚石涂层微型工具 孟宪明 唐伟忠 黑立富 王凤英 姜春生 吕反修 (北京科技大学材料科学与工程学院，北京 100083) 摘 要 本文研制了强直流伸展电弧金刚石涂层沉积设备，它可产生长达400mm的等离子体弧柱，可沉积金刚石涂层 的区域大，能够在复杂形状硬质合金刀具上沉积金刚石涂层 ，有利于实现金刚石涂层硬质合金工具的产业化生产。在直 径 1mm的微型铣刀上沉积了纳米金刚石涂层，研究了沉积压力对金刚石涂层组织的影响，沉积压力对金刚石涂层的晶 粒尺寸和表面形貌有显著影响。随着沉积压力的降低，沉积的金刚石涂层晶粒尺寸减小，当沉积压力为0．80kPa时，可 沉积出纳米金刚石涂层。涂层的厚度均匀，其表面光滑、平整，且与硬质合金基体之间有较好的附着力。用激光 Raman 对金刚石涂层进行了表征。 关键词 强电流直流伸展电弧；钠米金刚石涂层；工具 中图分类号 TQ164 文献标识码 A CVD nan0crystallinediamondcoatingonmicro—toolsbyhigh currentextendedDC arcplasma MengXianming TangWeizhong HeiLifu WangFengying JiangChunsheng LuFanxiu ． (MaterialScienceandEngineeringSchool，UniversityofScienceandTechnologyBeijing，Beijing100083，China) Abstract A highcurrentextendedDCarcplasmaCVD apparatuswasdeveloped．Thelengthofarecolumnis400mm andthe effectiveraeaofdiamond deposition isrelatively large．Diamond coating deposition on cemented carbide cuttingstoolswith complicatedshapeswasrealized．Nanocrystallinediamond coatingswereproduced on micro—toolswith 1mm diameter．The effectofpressureonthemicrostructureofdiamondcoatingswasstudied．Atadepositionpressureof0．80kPa，nanoerystalline diamondcoatings were obtained． The surface ofthe nanocrystalline diamond coating issmooth． Raman spectroscopy was conductedtoevaluatethediamondfilms． Keywords highcurrentDC extendedarcplasma；nanocrystallinediamondcoating；tool 工的硬质合金微型工具一直存在着使用寿命短、耐磨 0 引言