热铁盘法抛光CVD金刚石的微观表面研究.pdfVIP

维普资讯 2008年 8月 金刚石与磨料磨具工程 August2008 总第 166期 第4期 Diamond AbrasivesEngineering Serial，166 No．4 文章编号 ：1006—852X(2008)04—0057—05 热铁盘法抛光 CVD金刚石的微观表面研究 马泳涛。 张建立。 李 钝 马胜钢。 (1．郑州大学机械工程学院，450001郑州) (2 郑州大学信息工程学院，450001郑州) 摘 要 用原子力显微镜对热铁盘法抛光CVD金刚石达到 。0．016 m的表面进行观察。在微观表面 重现的基础上，对不同方向的表面粗糙度进行探测。发现抛光后的金刚石表面的粗糙度呈现出一定的 方向性，最大粗糙度和最小粗糙度方向，两个方向相互垂直。三维形貌图显示，金刚石表面存在较少数 量的由点到凸峰，且较大凸峰的高度在 50～60nm之间，是较小凸峰高度 的2～3倍 。影响表面粗糙度 值的因素不仅有表面凸峰的高度，还应考虑表面凸峰的数量和方向性。这种表面特征与抛光时采用的 直压式运动方式有着直接联 系。 关键词 热铁盘法；CVD金刚石；抛光；微观表面 中图分类号 TB43：TQ164 文献标识码 A StudyonmicrosurfacesofCVD diamondpolishedbyhotmetalplate MaYongtao ZhanJianli LiDun MaShenggang (1．SchoolofMechanicalEngineering，ZhengzhouUniversity，450001Zhengzhou，China) (2．SchoolofInformationEngineering，ZhengzhouUniversity，450001Zhengzhou，China) Abstract CVD diamondsurfacespolishedbyhotmatalplatetoR 0．016 I．Lm werestudiedbyusingatomic forcemicroscope(AFM)．Onthebasisofmicrosurfacesredrawing，thesurfaceswereprofiledthroughdifferent directions．Theresultsshow thattheroughnessdegreesobeycertain rulesrelatedwiththedirection，andthe directionofmaximum roughnessisverticaltothatoftheminimum one．3D toporgaphiesalsoshow thatthere areasmallamountofsummitson thesurface．Thehigh summitsisabout2 ～3 timeshigherthan thelow summits．Th eroughnessdergeeofthesurfaceisnotonlyaffectedbytheheightofthesummits，butalsobythe amountanddirectionsofthesummits．Thecharacteristicsofpolishedsurfacesisdirectlyrelatedwiththemode ofdirectpressurein htepolishingprocess． Keywords hotmetalplatemethod ；CVD diamond；polishing；microsurface