人造单晶金刚石激光微孔加工技术研究.pdfVIP

2009年4月 金刚石与磨料磨具工程 Apr．2009 第2期 总第 170期 Diamond AbrasivegErlgineering No．2 Seria1．170 文章编号：1006—852X(2009)02—0022—04 人造单 晶金刚石激光微孔加工技术研究 张勤俭 曹凤国 刘 媛 ， (1．北京市电加工研究所精密拉丝模具制造部 北京 100083) (2．北京工业大学 北京 100022) 摘 要 人造单晶金刚石传统的激光打孔方法采用 “轮廓法”。该方法的缺点是越靠近孔的中心剥去 的材料越多，精确的孔型难以得到。本文在理论和实践的基础上 ，提 出了一种新的激光数控打孔 自适应 模型。在模具的压缩区，通过控制工件的转速实现材料的均匀去除，并且使激光脉冲能量随着孔径的减 小而递减，以提高孔型精度。结果表 明，该模型可以有效提高微孔的加工精度 ，最小加工孔径达到3．5 Ixm。理论和实践证明，本文提 出的激光打孔数控模型是人造单晶金刚石激光打孔的有效方法。 关键词 激光微孔加工，人造单晶金刚石 ，数控模型 中图分类号 TG74；TQ164 文献标识码 A Studyonlasermicro·drillingtechnologyforsynthetic singlecrystaldiamond ZhangQinjian CaoFengguo LiuYuan。· (1．BeifingInstituteofElectro—Machining，Beijing100083，China) (2．BefiingUniversityofTechnology，Beng100022，China) Abstract Outlineshapingmethodisaconventionallasermicro-drillingtechnologyfordrillingsyntheticsingle crystaldiamond．Thedisadvantageofthistechnoloyg isthatthenearertotheholecenterthelaserfocusis，the moretheremovedmaterialsare．Accordingly，itisdifficulttoobtainanaccuratepass．Basedonthetheory and experiment，anew modelofrlasernumericalcontroldrillingisproposed．Inthereducedarea，thematerialis removedequallyby automaticregulatingofthedies’rotatingspeed．Furthermore，the laserpulse eneryg is controlled todecreasewiththereductionoftheaperture，whichcorrespondinglyimprovesthepassprecision． Theexperimentalresultsshow thatthe proposed modelcan improve the machining precision ofthe dies efficiently ．Anapertureof3．5 Ixm canbeobtained ．Itisprovedthatthemodelproposed inthispaperofr diamonddrillingissuccessfulandeffectiveofrmicro—nanofabricationofintegratedcircuitleaddies．