石英玻璃管外表面抗腐蚀纳米金刚石薄膜的制备.pdfVIP

2009 年 2月 金刚石与磨料磨具工程 Feb. 2009 第 1期 　总第 169期 D iamon d Ab rasive s En gineer in g No. 1　Se ria l. 169 文章编号 : 1006 - 852X 2 009) 01 - 002 3 - 04 3 石 英 玻 璃 管 外 表 面 抗 腐 蚀 纳 米 金 刚 石 薄 膜 的 制 备 张 　磊 　马志斌 　吴利峰 湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 ,武汉工程大学 ,湖北 武汉 4 30073) 摘 　要 　在具有新型谐振腔的微波等离子体 CVD 装置上 ,利用 乙醇和氢气为工作气体在石英玻璃管外 表面沉积 了均匀 、致密的纳米金刚石薄膜 。采用扫描 电子显微镜 、R am an 光谱及 X 射线衍射表征 了金刚 石薄膜的质量 ;设计腐蚀实验检验 了金刚石薄膜 的抗腐蚀效果 。结果表明 :在反应气压为 5. 5 kPa、碳源 浓度为 8vo l% 、石英玻璃管温度为 5 00 ℃的条件下 ,得到的纳米金刚石薄膜能有效增强石英玻璃管的抗 腐蚀性能 。 关键词 　石英玻璃管 ;微波等离子体 CVD ;金刚石膜 ;抗腐蚀 中图分类号 　TG74; TQ 164 　　　文献标识码 　A　 D ep osit ion of an t i2cor r os ion nan ocr y sta llin e d iam on d film on qua r tz tub e Zh an g L e i　M a Zh ib in 　W u L ife ng Key L ab. of P la sm a Ch em istry Advan ced M a teria ls in Hube i P rovin ce, W uh an In st itute of Techn ology, Wuh an 430073, Ch in a ) Ab str a ct　Un iform and comp act nanoc ry stalline d iamon d th in film s we re d ep osited on quartz tube su bstrate w ith the gas m ix tu re of eth ano l and hydro gen by m icrowave p lasm a CVD equ ipm en t wh ich has a novel typ e of resonance cavity. The qua lity of d iamond thin film s w ere tested by SEM , Ram an sp ectro scop y and XRD. A corro sion expe rimen t was de sign ed to test the an ti2corro sion effec t o f d iamond th in fiml s. The resu lts show ed tha t when th e reac tion p ressu re is 5. 5 kPa, th e ethano l concen tra tion is 8 vo1% , the reaction tempe ra tu re is 500 ℃, th e nanoc rysta