实用人造金刚石合成工艺曲线分析.pdfVIP

2012年 12月 第 6期 金刚石与磨料磨具工程 Dee．2012 第 32卷 总第 192期 Diamond ＆AbrasivesEngineering No．6 Vo1．32 Serial192 实用人造金刚石合成工艺曲线分析 武艳强， 林 玉， 李效政， 朱艺波， 蒋江元， 史国宏 (郑州华晶金刚石股份有限公司，郑州 450001) 摘要 分析了人造金刚石合成工艺曲线图中分段升压的意义，讨论了各工艺参数，如暂停时间、加热启动 压力、台阶功率、台阶压力(一次暂压)、二次暂压、生长时间等，对合成高品级金刚石的影响。研究结果表 明：诸如暂停时间、加热启动压力、台阶功率、台阶压力、二次暂压等工艺参数均对金刚石成核及 晶型有 明 显影响 ，生长时间则影响金刚石的粒径大小。 关键词 人造金刚石 ；p一相 图；合成工艺；成核 ；生长 中图分类号 TQ164 文献标志码 A 文章编号 1006—852X(2012)06—0062—04 Studyon synthesizingtechnologycurveofdiamond WU Yan-qiang， LIN Yu， LIXiao-zheng， ZHU Yi_bO， JIANG Jiang—yuan， SHIGuo—hong ● (ZhengzhouSino—CrystalDiamondJoint—stockCo．，Ltd，Zhengzhou450001，China) Abstract The mechanism ofmulti—step boosting in the diamond synthesistechnologycurvewasanalysed． Influencesoftechnology parameters，such aspause duration，heating startpressure，step power，the first pressurepauseandthesecondpressurepause，uponhighgradediamondssynthesiswerediscussed．Theresults showedthatthetechnologyparametersmentionedabovehadsignificantinfluenceson diamonds nucleationand crystalshape，whilegrowthtimeaffectedtheparticlesizeofthediamond． Keywords artificialdiamond；P—Tphasediagram ；synthesistechnology；nucleation；growth l 金刚石合成升压路径的选择 近年来，随着金刚石在工业领域的广泛应用，对金 刚石的品级要求也足越来越高，这就对金刚石的合成 如图1所示 ，每一种金属触媒 的V型生长 区域可 工艺提出了严格的要求。部分企业在合成工艺方面做 以划分为三个区域，I区(高温区、优 晶区)、II区(中 一 定的改进 ，金刚石产品与国际著名公司的差距减 温区、富晶区)、Ⅲ区(低温区、劣 晶区)¨。优 晶区生 小。目前，很多金刚石生产企业都采用分段升压合成 长的金刚石品级高，TI、1YrI值都很高，其金刚石晶型为 __：『艺，在分段升压工艺参数，例如台阶压力、暂停时间、 八面体，但是所得金刚石晶粒少，产量低 ；劣晶区生长 台阶功率等对产品质量的影响及进行几次分段升压 以 的金刚石品级低，TI、TTI值低，其金刚石晶型为立方 体 ；富晶区生长的金刚石品级高，TI