树脂结合剂金刚石线锯研究进展.pdfVIP

2011年4月 第2期 金刚石与磨料磨具工程 Apr．2011 第 31卷 总第 182期 Diamond ＆ AbrasivesEngineering No．2 Vo1．31 Seria1．182 文章编号：1006—852X(2011)02—0062—04 树脂结合剂金刚石线锯研究进展 丛明辉 徐冬梅 齐 维 仝 宇 (山东科技大学，青岛266510) 摘要 面对普遍使用的切割技术存在的问题，-ff7逐渐将注意力转移到 固结金刚石线锯切割的研究和 利用上。与其他 固结金刚石线锯相比，树脂结合剂金刚石线锯具有制作工艺简单 ，生产成本低 ，切割效 率高，环境污染少等优点。本文总结了树脂结合剂金刚石线锯的制作工艺以及线锯失效的形式，并指出 这一技术的研究方向是进一步提高制造效率、增长使用寿命、缩小锯丝直径。 关键词 树脂；金刚石；线锯切割 中图分类号 TG74；TQ164 文献标识码 A DOI编码 10．3969／j．issn．1006—852X．2011．02．014 Researchprogressinresinoid diamond wiresaw CongMinghui XuDongmei QiWei TongYu (ShandongUniversityofScienceandTechnology，Qingdao266510，China) Abstract In thefaceofproblemsencountered in thecommonlyused cuttingtechnologies，moreandmore attentionwaspaidtothedevelopmentandutilizationofthefixeddiamondwiresaw．Comparedwithotherfixed diamond wire saws，the resinoid diamond wire saw has greatadvantages， including simplerproduction technique，lowercost，highercuttingefficiency，lessenvironmentalpollution，etc．Thepresentpapermainly introducestheproductionprocessofresinoiddiamondwiresawsirandtheformsoffailure．Inaddition，itis pointedoutthatfurtherresearch direction istoenhance manufacturing efficiency，increase life cycleand reducethesaw wirediameter． Keywords resin；diamond；wiresawing 渐将注意力转移到固结金刚石切割技术的开发和应用 0 引言 上。同结金刚石线锯 ，是利用某种工艺将金刚石磨粒 随着半导体、太阳能电池等行业的迅速发展，硅 、 牢牢地固结在锯丝表面，比原来的游离磨粒具有更高 石英晶体等硬脆材料得到广泛应用。为了降低生产成 的耐磨性 ，能够承受较大的切削力和较长的切削时间。 本 ，被加工的晶体直径逐渐增大，对切割技术要求越来 这种切割技术以其独特的优势，将成为下一代 Ic生产 越高。线锯切割因具有质量高、损耗低、不受晶体尺寸 高质量切片和加工大尺寸硅晶体的重要技术，因此研 影响等特点，受到人们的关注 ¨ 。到 目前为止，硬脆 制固结金刚石线锯具有重要 的现实意义。目前 ，常用 材料如陶瓷、单晶硅、多晶硅等的切割主要采用游离磨