碳源浓度对金刚石薄膜涂层刀具性能的影响.pdfVIP

维普资讯 2000．5(II9) ·3 · (》oC[ 敲源溅庭 剐 薄麒滁属 艟鼹盼影响。 200030 上海交通大学机械工程学院 孙方宏 陈 明，张志明 。’———一 ————～ 、， 摘要 用熟丝CVD法．以丙酮为瑗潺，在WC—Co硬质旮金村底上沉积金刚石薄膜，研完了瑗源浓度对金刚 石薄膜潦层刀具性能的影响，结果表晴，碳源浓度对金刖石潦层薄膜质量、彤貌和粗糙度、薄膜与村底间的l附着 力、刀具的耐用度厦切削性能有显著影响，夸理控制碳源农度对获取实用化的在硬质合全 刀具基体上沉积高附着 强度、低粗糙度全 刚石薄膜的新技术具有重要的意义。 ABSTRAcr Thediamondthinfilm isdepositedonWC—Cocementedcarbldesubstrateusingtheacetoneasthecar． bonSOUl~ebythehotfilamentchemicalvapordeposition(HFCVD)．Theinfluenceofhtecarbonsourceconcentration0nrne． ehanicalpropertiesofdiamond-coatedhtinfilm toolshavebeeninvestigated．Th eresultsshowhtatincreasingthecarbonsouive concentrationgreatlyaffectshtesurfacerollgI1hess，morphology，chemicalquality，adhesionstrength，andhtecuttingperfor- filli esofhtediamond-coatedhtinfilm too1．Itisof greatsignificanceforpracticalapplicationofhtenew technologyof depos— itingdiamondthinfilmwithlowsurfacerougI1I andhigI1adhesionstrengthonhtecementedcarbidesubstratebyappmpfi- atdyocntrollingthecarbonSOUl~econcentration- 主题词 潦层刀具 全刖石薄膜 碳源农度 ¨硅 、 礤 1 KEYWO面 0 ted ，diamondthinfilm carbon s0un conce ntration 1 前言 酮和氢气，丙酮的体积 比为 1％一3％，反应压力为2— CVD金刚石薄膜涂层刀具的性能与其制备条件 8kPa．热灯丝为钽丝 ．温度约为2200~C，偏流为01 0． 密切相关，在 CVD金刚石薄膜沉积过程 中，如何通过 3A／cm~，村底表面温度为700—8500(：．灯丝与衬底距离 ， 选择和控制影响金刚石薄膜性能的工艺参数 ，得到使 5mm，沉积时间5小时，涂层厚度1015。 ，r 1lD．D 用寿命长、性能优越 的金刚石薄膜涂层刀具一直是实 用ALPHA—STEP500表面台阶仪测量金刚石膜表’ 际应用中需要解决 的关键 问题之一。对于热丝 CVD 面粗糙度 ，扫描速度 50gm／s．扫描距离 600ttm。用扫描 涂层工艺，碳源(甲烷或丙酮等)浓度是影响涂层刀具 电子显微镜 (S一2150)检测金刚石膜表面形貌和刀具 性能的重要因素 ，因此 ，本文将研究HFCVD工艺 中碳 磨损形态