利用扫描电镜Inlens探头观测择优取向的SrTiO3薄膜微观结构.pdfVIP

维普资讯 利用扫描 电镜 Inlens探头观测择优取向的SrTiO3薄膜微观结构 张金芝 ，杨志敏 (深圳市计量质量检测研究院，广东 深圳 518050) 摘要：择优取向的介电薄膜是介电材料研究中的热点。利用溶胶-凝胶法在金属和单晶基底上沉积了择优取向的 钛酸锶介 电薄膜 ，并利用扫描电镜 Inlens探头对其微观结构进行了直接观测。Inlens探头对于样品表面原子层 的信息非常敏感，对于导电性较差的薄膜，不需进行常规的喷金或喷碳处理，即可直接观测，大大提高了分析效 率 。利用二次电子像探头和 Inlens探头分别对半导体性的SrTiO 薄膜的微观结构进行对 比分析发现，Inlens探 头的分辨率明显优于二次电子探头的。在2O万倍的放大倍数下，仍能清晰观测到薄膜的表面和截面结构。 关键词：扫描电镜；Inlens探头；择优取向；钛酸锶薄膜 中图分类号：TGll5．21 文献标识码 ：A 文章编号：0254-6051(2005)09-0010-03 Obs