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维普资讯 碳钢基体磁控溅射 SiC薄膜结合力研究 邵红红，张 晔，高建昌，华戟云 (江苏大学材料科学与工程学院，江苏镇江 212013) 摘要：采用磁控溅射法在T10钢表面获得了SiC薄膜，并研究了溅射方式、工艺参数以及中间层对薄膜结合性能 的影响。试验结果表明，采用功率为200W射频法和时间为2h的SiC／Ni—P双层薄膜结合力最好。 关键词：磁控溅射；SiC薄膜；结合力；Ni—P合金中间层 中图分类号：TG174．444 文献标识码：A 文章编号：0254-6051(2007)02-0050-04 BindingForceofSiC FilmsPreparedbyMagnetronSputteringonCarbonSteel SHAOHong—hong，ZHANGYe，GAOJian—chang，HUA ji—yun (SchoolofMaterialsScienceandTechnology，JiangsuUniversit