乐甫波的液体粘度传感研究.pdfVIP

第36卷 第3期 计 量 学 报 Vol. 36，№ 3 2015年 5月 ACTA METROLOGICA SINICA May，2015 doi：10.3969/ j.issn.1000-1158.2015.03.15 乐甫波的液体粘度传感研究 1 1，2 1 3 1 王萌阳 ， 陈智军 ， 蒋 玲 ， 刘敬勇 ， 童 锐 （1. 南京航空航天大学自动化学院，江苏南京210016；2. 南京大学近代声学教育部重点实验室，江苏南京210093； 3. 中国电子科技集团第五十五研究所，江苏南京210008） 摘要：利用部分波理论和边界条件精确推导，对“粘性液体 非压电薄膜 压电基底”3层乐甫波结构建模，分析 得出随叉指周期变小，液体粘度灵敏度提高，传播衰减增大；随“薄膜厚度与波长之比”增大，液体的粘度灵敏度随 之先减小再增大，液体密度灵敏度几乎为零。优化设计了以36°钽酸锂和 SiO 为基底和薄膜的乐甫波器件，制作 2 并测试实物，实验结果与数值仿真基本一致，表明了理论模型的正确性。 关键词：计量学；乐甫波；粘度；液体传感；层状结构 中图分类号：TB95 文献标识码：A 文章编号：1000-1158（2015）03-0295-04 Researchon Liquid Viscosity ensitivity Using Love Wave Device 1 1，2 1 3 1 WANG Meng-yang ， CHEN Zhi-jun ， JIANG Ling ， LIUJing-yong ， TONG Rui （1.College of Automation Engineering，Nanjing University of Aeronautics and Astronautics，Nanjing，Jiangsu210016，China； 2.Modern Acoustics in Key Laboratory of Ministry of Education，Nanjing University，Nanjing，Jiangsu210093，China； 3. No.55 Research Institute，China ElectronicsTechnology Group Corporation，Nanjing，Jiangsu210008，China） Abstract：The theory model of Lovewaveloadedwithviscousliquidisestablished，theinfluencesof liquidviscosity on propagation velocity of Lovewaveareanalyzed. Thethicknessof thefilmisoptimizedandtheLovewavedeviceisfabricated on36°LiTaO with a SiO film overlaid. The device is fabricated and tested，The experimental results are basically in 3 2 accordancewith simulation analysis，proving the validity of theory model. Key words：Metrology；Lovewave；Viscosity；Liq