基于DMD的并行共焦图像处理方法研究.pdfVIP

第36卷 第2期 计 量 学 报 Vol. 36，№ 2 2015年 3月 ACTA METROLOGICA SINICA March，2015 doi：10.3969/ j.issn.1000-1158.2015.02.01 基于 DMD 的并行共焦图像处理方法研究 1，2 3 1 余 卿 ， 余晓芬 ， 崔长彩 ， 叶瑞芳 （1. 华侨大学机电及自动化学院，福建 厦门361021； 2. 上海理工大学光学工程博士后流动站，上海200093； 3. 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，安徽 合肥230009； . 华侨大学制造工程研究院，福建厦门361021） 摘要：在并行共焦测量中，用于构造点光源阵列的光分束器件普遍存在参数固化、对不同测量对象适应性较差 的缺点。将数字微镜器件（DMD）作为光分束器件应用于并行共焦测量，可以控制DMD构造柔性化点光源阵列，应 对不同的测量场合。推导了DMD的空间光调制模型，规避了“泰伯效应”对并行共焦测量的影响，设计了可抑制光 点横向漂移的远心光路，构建了基于DMD的并行共焦测量装置，对比了两种不同的并行共焦图像处理方法。实验 结果表明，在没有设置高数值孔径物镜组的情况下，测量装置的纵向分辨率受到一定影响，但所设计的图像处理程 序能够快速、准确地获取被测物面的形貌特征。 关键词：计量学；并行共焦测量；图像处理；数字微镜器件；点光源阵列 中图分类号：TB92 文献标识码：A 文章编号：1000-1158（2015）02-0113-05 Researchon lmage Processing in Parallel Conocal Measurement With DMD 1，2 3 1 YU Qing ， YU Xiao-fen ， CUI Chang-cai ， YE Rui-fang （1.College of Mechanical Engineering and Automation，Huaqiao University，Xiamen，Fujian361021，China； 2.Postdoctoral Research Station of Optical Engineering，University of Shanghai Science andTechnology，Shanghai 200093，China；3.School of Instrument Science and Opto-electronics Engineering，Hefei University of Technology，Hefei， Anhui230009，China；.Institute of Manufacturing Engineering of Huaqiao University，Xiamen，Fujian361021，China） Abstract：In parallel confocal measurement，the optical divide devices（ODDs）are used to divide the incident light into lots of beams；however，theparametersof ODDsarefixed，whichcausebadadaptabilitytodifferentmeasuredobjects.