激光干涉和化学腐蚀制备氢化硅太阳能电池绒面结构.pdfVIP

激光干涉和化学腐蚀制备氢化硅太阳能电池绒面结构 刘t。：臣吴永刚夏子奂 (同济大学物理系精密光学工程技术研究所，上海200092) 摘要。结合激光干涉法和化学腐蚀法制冬绒面掺铝氧化锌薄膜，以及碱赓蚀制各金字塔单晶硅绒面结构。 采用扫描电镜观察了绒面形貌，用紫外．可见分光光度计对反射率进行了测试。比较了，几种典型绒面结构在 降低反射率方面的效果。以n．100型单晶硅为衬底，采用直流磁控溅射、热蒸发等技术制备AI／AZO／P．H： 硅太阳能电池，初步探讨r绒面结构对氢化硅太阳能电池短路电流和开路电压的影响。 关键词：激光干涉法；单晶硅；掺铝氧化锌；直流磁控溅射；绒面结构 l引言 氢化硅(Si：H)太阳能电池常见的结构为：n型单晶硅衬底(或p型)／p型或(n型)Si：H ／TCO／Al。其中硅的P．n结主要产生光电流，TCO薄膜用来收集电流，Al是电极。掺铝氧化 锌透明导电薄膜(AI：ZnO，AZO)pA其优异的导电性能、可见光透过性能、良好的氢等离子 体稳定性能、以及价格低廉、资源丰富等优点已被广泛用作太阳能电池TCO薄膜。 制作绒面结构是提高Si：H太阳能电池光电转换效率的一种有效途径。对AZO和单晶硅制 绒不仅能降低表面反射还可以达到陷光效果，增加电池对光谱的