激光损伤氧化铪薄膜SPAM检测.pdfVIP

声学技术 Pt．2 第30卷第4期 V01．30，NO．4 Technical 2011年8月 Acoustics Aug．，2011 激光损伤的氧化铪薄膜的SPAM检测 姚文刚，程茜 (同济大学声学研究所，上海，200092) 摘要：扫描探针声显微镜(SPAM)是一种新型材料性能检测1=具，它可以同时地原位地对试样表面和亚表面进行成 像，采用不同的探针可探测纳米尺度下材料的结构、弹性、热、应力等性质。本文基于扫描探针声显微镜的两种声 成像模式对si02基底上激光损伤的Hf02薄膜物理性质进行了检测。表面形貌像显示Hf02薄膜．卜激光损伤孔洞的深度 接近于薄膜厚度。试样振动模式的声像表明在HID2薄膜上光辐照后的热影响区比受损孔洞大、薄膜沉