细菌在电子行业高纯水系统运行中的影响与防治.pdfVIP

维普资讯 第2l卷第1期 河 北 省 科 学 院 学 报 VoI．2lNo．1 2004年2月 Journa!oftheHebeiAcademyofSciences Feb 20()4 文章编号：1001—9383(2004)0l一0056—04 细菌在电子行业高纯水系统运行中的影响与防治 姚光平。，何谓 (1．t}】国电子科技集团第f‘：研究所，河北石家庄050051： 2．河北省自动化研究所，河北石家庄050081) 摘要：阐述了在电子工业高纯水制取过程中，细菌对制水每个工艺环节的影响与采取的相 应措施，说明了控制细菌繁殖对提高水质和延长备件使用寿命的重要性。 关键词：电子工业；高纯水；细菌；电阻率 中图分类号：TN47 文献标识码：A ’ Influenceandpreventionofbacteriainhigh 叠 purifiedwatersystem ofelectronicindustry YAOGuang—ping。 ． HEWei (J．13InstituteCETC，ShifiazhuangHebei050051，China： 2．HebeiAutomatrzationResearchInstitute，Shijiazhuangttebei050081，China) Abstract：Thispaperexplainstheinfluenceofbacteriainthetreatmentofhighpurifiedwater inelecrtonicindustryandhtecorrespondingmehtodsadopted，andpresentstheimportanceof controllingbacteriaproliferationtoimprovewaterqualityandprolongservicelifeofspareparts ． Keywords：Elecrtonicindustry；Highpurifiedwater；Bacteria；Resistivity 1细菌的繁殖对半导体产品的影响 半导体工业大规模集成电路生产过程中的晶片加工、制罩、成膜工程、照相制版工程、刻蚀工程及其 他(工模类的洗净)各洗净工程都用高纯水除去残留晶片表面的药品和微粒子等，高纯水中若有离子、 微粒子、微生物、有机物等，对晶片中的氧化膜、多结晶膜、配线等有不良影响，会造成晶片的电气特性不 可靠。例如，细菌的主要成份为碳、磷、钾等，如果它附着晶片表面而烧成，会因碳析出而短路；磷(五价) 扩散会使P型、n型半导体异常。 在高纯水制取过程中除去的离子成份、胶体物质、溶存气体、微粒子及微生物中，微生物(即纯水中 的细菌类)是纯水中唯一会增值的杂质，有藻类、线状菌、酵母、放线菌、细菌类等。前四者因要求营养， 只存在于纯水制造过程的一次纯水之前，一次纯水以后细菌类是唯一的微生物。经过精混后电阻率达 18MI)的高纯水中可增值的细菌大都是Gram染色性阴性的Pseudomonas类，采用寡营养培养基培养精 混后水样．其菌落形成单位(cfu)增值结果见表l。 由表 l可见，在几乎没有营养源的高纯水中细菌也可以充分繁殖，对半导体工业的产品产生影响， 降低成品率。其主要影响有下面三点：